发明名称 磺酸酯衍生物及其作为潜酸之用途
摘要 一种化学放大光阻组物成,包含。(a)一于酸作用时固化之化合物或其可溶性于酸作用时增加之化合物;及(b)化学式Ia, Ib, IIa, IIb, IIIa, IIIb, IVa, IVb, Va, Vb或VIa之化合物,其中n系1或2;m系0或1;X0系-[CH2]h-X或- CH=CH2;h系2, 3,4, 5或6;R1当n系1时,系例如选择性被取代之苯基,基,基,菲基,或杂芳基;R1,当n系2时,系例如选择性被取代之伸苯基或伸基;R2例如具有R1意义之一;X系例如-OR20, -NR21R22, -SR23;X'系─X1─A3─X2─;X1及X2系例如-O-, -S-或直接键;A3系例如伸苯基;R3具有例如对R1所示意义之一;R4具有例如对R2所示意义之一;R5及R6例如系氢;G例如系-S-或-O-;R7,当 n系1时,系例如苯基,选择性被取代,当n系2时,系例如伸苯基;R8及R9系例如 C1-C18烷基;R10具有对R7所示意义之一;R11系例如C1-C18烷基;R12, R13, R14, R15 R16, R17及R18系例如氢或C1-C18烷基;R20, R21, R22及R23系例如苯基或C1-C18烷基;产生具良好光阻物轮廓之高解析度。
申请公布号 TWI288859 申请公布日期 2007.10.21
申请号 TW092102265 申请日期 2003.01.30
申请人 席巴特制品化学股份有限公司 发明人 松本晃;大和仁;朝仓俊景;彼得.穆勒
分类号 G03F7/004(2006.01);C07C303/26(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种化学放大光阻组成物,包含: (a)于酸作用时固化之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之化学式Ia,Ib,IIa,IIb,IIIa,IIIb, IVa,IVb,Va,Vb或Via之至少一化合物 其中, n系1或2; m系0或1; X0系-[CH2]h-X或-CH=CH2; h系2、3、4、5或6; R1,当n系1时,系苯基、基、基、菲基,或杂芳基 ,其所有皆系选择性以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、 -NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代,选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19系经由R19、R20、R21、R22及/或R23基,与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基 或与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之碳原 子之一形成5-、6-或7-员之环; 或R1系氢,但附带条件系R2非同时系氢; 或R1系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO 2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未被 取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C 30环烷基、卤素、NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C1-C8卤烷基、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑 基; 或若m系0,R1另外系CN、C2-C6烷氧基羰基或苯氧基羰 基,其中C2-C6烷氧基羰基及苯氧基羰基选择性地系 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、SO2R19及/或-OSO2R19取代; R1,当n系2时,系伸苯基、伸 基、 、二伸苯基 、氧基二伸苯基或 ,其中此等基系未被取代或以一或更多个 C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1 ,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21 R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R 19及/或-OSO2R19取代, 或 R1系直接键, 其中除氢及直接键外之所有R1基可另外以具-O-C-键 或-O-Si-键之基取代,其可于酸作用时裂解; A1系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)- 、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-; A2系直接键、C1-C18伸烷基或系以一或多个C3-C30伸 环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、- NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18伸烷 基;或选择性地,C1-C18伸烷基及C2-C18伸烷基系以一 或更多个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、- CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O (CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系C3-C30伸环烷基,选择性地以一或更多个-O-、- S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系伸苯基、伸基,其中此等基系选择性地以 一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基 、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21 R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、- NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/ 或-OSO2R19取代; R2系R1意义中之一,或系C2-C18烷醯基;苯醯基,其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R2系NO2;或R2系S(O)pC1-C18烷 基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C10芳基 、二苯基-膦醯基,其所有皆可选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1及R2一起形成5-、6-或7-员环,其系未被取代或 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar 1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6- 或7-员环可另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1- C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯 基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23( CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断,且对该5-、6-或 7-员环可选择性地熔合一或更多个苯并基; p系1或2; X系-O(CO)R24、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R24、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、 、-SR23、-SOR19、-SO2 R19、-OSO2R19,或 X'系 ; X1及X2彼此个别系-O(CO)-、-O(CO)O-、-O(CO)NR23-、-NR23( CO)-、-NR23(CO)O-、-O-、-NR23-、-S-、-SO-、-SO2-、-OSO2- 、 或X1及X2系直接键,但附带条件系X1及X2非同时皆为 直接键; A3系伸苯基、伸基、 二伸苯基、氧基二伸苯基或 其中此等基系未被取代或以一或多个C1-C18烷基、C 1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、- (CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O (CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、 -SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A3系直接键、 R3具有对R1所示意义之一;或R3系C2-C18烷醯基;苯醯 基,其系选择性地以一或多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R3系NO2;或R3系S(O)pC1 -C18烷基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C1 O芳基、二苯基-膦醯基,其等皆选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R4具有对R2所示之意义之一,或R3及R4一起形成5-、6- 或7-员环,其系选择性地系一或更多个C1-C18烷基、C 1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或多个-O-、-S- 、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或该5 -、6-或7-员环系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、- (CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22 、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6-或7-员环选 择性地另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤 伸烷基C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯基、伸 基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S (CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断;且选择性地一或更多 个苯并基系被熔合至该5-、6-或7-员环; R5及R6彼此个别系卤素、C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C 3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或 -NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R5及R6系卤素、-NO2、 -CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、- O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R5及R6一起系-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-或-(CO)NR23(CO) -; G系-S-、-O-、-NR23-,或化学式Z1、Z2、Z3或Z4之基 R7,当n系1时,系苯基、基、基、菲基或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤 烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR 23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代;选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19、R20、R21、R22及/或R23,基与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基或 与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之一碳原 子形成5-、6-或7-员环; 或R7系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R17系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 藉由一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环 烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R 19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R7系氢、C1-C8卤烷基、-OR20、-NR21R22、-NR23(CO)R19 、-SR23、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑基;且 R7,当n系2时,系伸苯基、伸基、 二伸苯基、氧基二伸苯基或 其中此等基系以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R7系直接键、 其中除氢及直接键外,所有R7基系选择性地另外以 具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作用时会裂 解; A4系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-或-NR23-; R8及R9彼此个别系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C 30伸环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)- 、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷 基;选择性地,C1-C18烷基及C2-C18烷基系以一或更多 个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系C3-C30环烷基,其选择性地以一或更多个-O -、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择 性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30 环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、 -(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO )R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系氢、卤素、C1-C8卤烷基、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R8及R9,若适当,与C1-C4伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; 或R7及R8,若适当,与C1-C3伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; R10具有对R7所示意义之一; R11系C1-C18烷基;或以一或更多个C3-C30伸环烷基、-O- 、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO- 、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R11系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO) NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19 、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R11系氢、C1-C8卤烷基、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22或-SO2R19; 或R10及R11一起形成5-、6-或7-员环,其选择性地以一 或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取 代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)- 中断之C3-C30环烷基;或该5-、6-或7-员环系以卤素、 -NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO) R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20 、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取 代;且该5-、6-或7-员环选择性地另外以C1-C12伸烷基 、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4 -C30伸环烯基、伸苯基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、 -(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2- 中断;且于该5-、6-或7-员环系选择性地熔合一或更 多个苯并基; R12、R13、R14及R15彼此个别系氢、C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23- 、-O(CO)或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R12、R13、R 14及R15系卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、- (CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO) R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19;选择性地,取代基R12、R13、R14及/或R 15经由R12、R13、R14及/或R15基与和R12、R13、R14及/或 R15基结合之苯基上之进一步取代基,或与该苯基环 之一碳原子形成5-、6-或7-员环或熔合环; 其中除氢外,所有R12、R13、R14及/或R15基系选择性 地另外以具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作 用时会裂解; R16,R17及R18彼此个别系氢,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C 30环烷基;以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO )-中断之C3-C30环烷基;或R16,R17及R18系卤素,-NO2,-CN,- Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO) NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,- SO2R19及/或-OSO2R19,选择性地,取代基R16,R17,及/或R18 经由R16,R17,及/或R18基与和R16,R17及R18结合之苯基环 上之进一步取代基或与该苯基环之一碳原子形成5 -,6-或7-员环或熔合环; 其中除氢外,所有R16、R17及/或R18基系选择性地另 外以具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作用时 会裂解; R19系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-, 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基; 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12氧烷基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R19系氢; R20系苯基,基,X3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)- 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系C2-C18烷醯基,或 系苯醯基,或系C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R20系氢,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,基磺 醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; R21,R22及R23彼此个别系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18 烷基,C1-C8卤烷基,C2-C12烯基,C4-C30环烯基:或系以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O- ,-S-,-NR23-, -O(CO)-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或 系C2-C18烷醯基,苯醯基或C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R21,R22及R23彼此个别系氢,苯基磺醯基,(4-甲基-苯 基)磺醯基,基磺醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; 或R21及R22与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,其选择性地以-O-或以-NR23-中断; R24系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断之C2-C18烷基 ,或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO)-中 断之C3-C30环烷基; 所有皆系未被取代或以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基, 苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R 22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基 ,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R24系氢; 或R23及R24与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,以选择性地以-CO-或-O-中断,且其另外选择性地 与一或更多个苯并环熔合; R25,R26及R27彼此个别系氢;或苯基或基,二者皆选 择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤基烷基 ,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯 氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷 基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯 醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺 醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲 基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基, 苯醯基及/或以苯醯基氧基取代;或R25,R26及R27系C3-C 18烯基或C3-C18炔基;或R25,R26及R27系C1-C18烷基,以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及C2- C18烷基系选择性地系一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1 -C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯 氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22, C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基, 卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基 取代;或R25及R26,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-s-,或-CO-, 一起形成熔合环;或R25,R26及R27,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6-,或7-员环;或R25,R26及R 27与结合之N+-原子一起形成 R28及R29彼此个别系苯基,其系选择性地以一或更多 个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷氧,卤素,-NO 2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯氧基硫基, 苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基 羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯 基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯 基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基, C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯 醯基氧基取代;或R28及R29彼此个别系C1-C18烷基,以 一或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及 C2-C18烷基系选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤基烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧 基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,- NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷 醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4- 甲基苯基)-磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯 基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12 烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基取代;或R 28及R29,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或- CO-,一起形成熔合环;或R28及R29,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6-or7-员环; R30,R31,R32及R33彼此个别系氢,卤素,C1-C18烷基,C1-C18 烷氧基,C1-C8卤基烷基,CN,NO2,C2-C18烷醯基,苯醯基,苯 基,-S-苯基,OR20,SR23,NR21R22,C2-C6烷氧基羰基,苯氧基 羰基,S(O)pC1-C18烷基,未被取代或以C1-C18烷基取代之 S(O)p-C6-C12芳基,SO2O-C1-C18烷基,SO2O-C6-C10芳基或NHCO NH 2; R34及R35彼此个别具有对R5之意义之一; 或R34及R35一起系-CO-NR23CO-;或R34及R35一起-C(R30)=C(R31 )-C(R32)=C(R33)-; Ar1系苯基,基,基,菲基,或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷 基,C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO )-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素,-NO2,-CN, 苯基,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O( CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR 19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代,选择性地,取代基-(CO)R19,- (CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23( CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19,R20,R21R22及/或R23与苯基,基,基,菲 基,或杂芳基环上之进一步取代基或与苯基,基, 基,菲基,或杂芳基环之一碳原子形成5-,6-或7-员 环; Ar2系伸苯基,伸基, 二伸苯基,氧基二伸苯基或 其中此等基选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR 20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19, -NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19 取代,选择性地,取代基-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O( CO)R19,-O(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20, -NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19经由R19,R20,R21R22 及/或R23与此等基之进一步取代基或与此等基之一 碳原子形成5-,6-或7-员环; M+系 Li+,Na+,K+,Cs+,1/2Mg2+,1/2Ca2+或1/2Ba2+; L-系F-,Cl-,Br-,I-,HSO4-,1/2SO42-,NO3-, ClO4-,BF4-,PF6-,AsF6-,SbF6-,(R50SO2)3C-或(R50SO2)2N-; R36,R37,R38及R39h具有对R25,R26及R27所示意义之一; R40,R41及R42具有R28及R29所示意义之一; R43及R44彼此个别系苯基,其选择性地以一或更多个 Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,- CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基 硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C 2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基 磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基, 苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷 醯基,C2-C12烷磺醯氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基 取代;或R43及R44,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或-CO- 一起,形成熔合环; R45系C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,樟脑基,苯基-C1-C3烷基,C 3-C30环烷基,C4-C30环烯基,苯基,基,基或菲基;其 等皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR 21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO) OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R46及R47彼此个别具有对R5所示意义之一;或R46及R47 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R48及R49彼此个别具有对R5所示意义之一;或R48及R49 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R50系C1-C8-全氟烷基; Q1系-CR35-或-N-;且 Q2系-CH2-,-S-,-O-或-NR23-。 2.一种化学放大光阻组成物,包含: (a)一其可溶性于酸作用时增加之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一如申请专利范围第1 项所述之化学式Ia,Ib,IIa,IIb,IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb或Via 之化合物。 3.如申请专利范围第1或2项所述之化学放大光阻组 成物,包含化学式Ia,Ib,IIa,IVa之化合物,其中, n系1或2; m系0; h系2; R1,当n系1,系苯基,选择性以C1-C4烷基或OR20取代; R1,当n系2,系 A1系直接键或-O-; A2系C1-C4伸烷基; A3系-A1-A2-A1-; R2系C1-C4卤烷基; R3系苯基,选择性以C1-C4烷基取代; R4系CN; X系-OR20,SR23,NR21R22,-NR23(CO)R24,SO2R19或 X1及X2系-S-; R20系C1-C4烷基,或系以-O-中断之C2-C8烷基; R21,R22及R23系C1-C4-烷基,其选择性以OH取代;或 R23及R24与和其附接之N-原子一起形成5-员环,其系 以-CO-中断及与苯并环熔合; R25,R26及R27与和其附接之N+-原子 形成 基; Ar1系苯基,其选择性以C1-C4烷基或OR20取代; L-系-SO3R45; R45系C1-C8卤烷基;且 R46及R47系氢。 4.如申请专利范围第1或2项所述之化学放大光阻组 成物,其系正光阻物,包含: (a1)至少一具酸不稳定基之聚合物,其于酸存在中 分解以增加于水性硷显影剂溶剂中之可溶性;及/ 或 (a2)至少一具酸不稳定剂之单体或寡聚物溶解抑制 剂,其于酸存在中分解以增加于硷性显影剂水溶液 中之可溶性;及/或 (a3)至少一硷可溶之单体、寡聚物或聚合物化合物 ;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一化学式Ia,Ib,IIa,IIb, IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb及/或VIa之化合物。 5.如申请专利范围第1或2项所述之化学放大光阻组 成物,其系负光阻物,包含 (a4)作为黏着剂之硷可溶之树脂; (a5)当藉由酸催化时与其本身及/或该黏着剂进行 交联反应之组份;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一化学式Ia,Ib,IIa,IIb, IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb及/或VIa之化合物。 6.如申请专利范围第1或2项所述之化学放大光阻组 成物,其除组份(a)及(b)外,另包含进一步之添加剂(c )、进一步之光敏性酸供体化合物(b1)、其它光起 始剂(d),及/或感应剂(e)。 7.一种制备光阻物之方法,其系藉由下述制备: (1)于一基材涂敷如申请专利范围第1或2项所述之 组成物; (2)于60℃与160℃间之温度使该组成物进行涂敷后 烘烤; (3)以150 nm与1500 nm间波长之光线影像式照射; (4)选择性地于60℃与160℃间之温度使该组成物进 行曝光后之烘烤;及 (5)以溶剂或以水性硷显影剂显影。 8.一种化学式Ia,IIa,IIIa,IVa,Va或VIa之化合物, 其中, n系1或2; m系0或1; X0系-[CH2]h-X或-CH=CH2; h系2、3、4、5或6; R1,当n系1时,系苯基、基、基、菲基,或杂芳基 ,其所有皆系选择性以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、 -NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代,选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19系经由R19、R20、R21、R22及/或R23基,与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基 或与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之碳原 子之一形成5-、6-或7-员之环; 或R1系氢,但附带条件系R2非同时系氢; 或R1系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO 2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未被 取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C 30环烷基、卤素、NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C1-C8卤烷基、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑 基; 或若m系0,R1另外系CN、C2-C6烷氧基羰基或苯氧基羰 基,其中C2-C6烷氧基羰基及苯氧基羰基选择性地系 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R1,当n系2时,系伸苯基、伸 基、 、二伸苯基 、氧基二伸苯基或 ,其中此等基系未被取代或以一或更多个 C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1 ,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21 R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R 19及/或-OSO2R19取代, 或 R1系直接键, 其中除氢及直接键外之所有R1基可另外以具-O-C-键 或-O-Si-键之基取代,其可于酸作用时裂解; A1系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)- 、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-; A2系直接键、C1-C18伸烷基或系以一或多个C3-C30伸 环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、- NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18伸烷 基;或选择性地,C1-C18伸烷基及C2-C18伸烷基系以一 或更多个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、- CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O (CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系C3-C30伸环烷基,选择性地以一或更多个-O-、- S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系伸苯基、伸基,其中此等基系选择性地以 一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基 、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21 R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、- NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/ 或-OSO2R19取代; R2系R1意义中之一,或系C2-C18烷醯基;苯醯基,其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R2系NO2;或R2系S(O)pC1-C18烷 基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C10芳基 、二苯基-膦醯基,其所有皆可选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1及R2一起形成5-、6-或7-员环,其系未被取代或 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar 1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6- 或7-员环可另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1- C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯 基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23( CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断,且对该5-、6-或 7-员环可选择性地熔合一或更多个苯并基; p系1或2; X系-O(CO)R24、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R24、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19、-OSO2 R19,或 R3具有对R1所示意义之一;或R3系C2-C18烷醯基;苯醯 基,其系选择性地以一或多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R3系NO2;或R3系S(O)pC1 -C18烷基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C 10芳基、二苯基-膦醯基,其等皆选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R4具有对R2所示之意义之一,或R3及R4一起形成5-、6- 或7-员环,其系选择性地系一或更多个C1-C18烷基、C 1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或多个-O-、-S- 、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或该5 -、6-或7-员环系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、- (CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22 、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6-或7-员环选 择性地另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤 伸烷基C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯基、伸 基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S (CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断;且选择性地一或更多 个苯并基系被熔合至该5-、6-或7-员环; R5及R6彼此个别系卤素、C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C 3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或 -NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R5及R6系卤素、-NO2、 -CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、- O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R5及R6一起系-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-或-(CO)NR23(CO) -; G系-S-、-O-、-NR23-,或化学式Z1、Z2、Z3或Z4之基 R7,当n系1时,系苯基、基、基、菲基或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤 烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR 23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代;选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19、R20、R21、R22及/或R23,基与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基或 与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之一碳原 子形成5-、6-或7-员环; 或R7系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R17系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 藉由一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环 烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R 19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R7系氢、C1-C8卤烷基、-OR20、-NR21R22、-NR23(CO)R19 、-SR23、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑基;且 R7,当n系2时,系伸苯基、伸基、 二伸苯基、氧基二伸苯基或 其中此等基系以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R7系直接键、 其中除氢及直接键外,所有R7基系选择性地另外以 具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作用时会裂 解; A4系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-或-NR23-; R8及R9彼此个别系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C 30伸环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)- 、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷 基;选择性地,C1-C18烷基及C2-C18烷基系以一或更多 个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系C3-C30环烷基,其选择性地以一或更多个-O -、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择 性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30 环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、 -(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO )R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系氢、卤素、C1-C8卤烷基、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R8及R9,若适当,与C1-C4伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; 或R7及R8,若适当,与C1-C3伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; R10具有对R7所示意义之一; R11系C1-C18烷基;或以一或更多个C3-C30伸环烷基、-O- 、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO- 、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R11系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO) NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19 、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R11系氢、C1-C8卤烷基、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22或-SO2R19; 或R10及R11一起形成5-、6-或7-员环,其选择性地以一 或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取 代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)- 中断之C3-C30环烷基;或该5-、6-或7-员环系以卤素、 -NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO) R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20 、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取 代;且该5-、6-或7-员环选择性地另外以C1-C12伸烷基 、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4 -C30伸环烯基、伸苯基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、 -(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2- 中断;且于该5-、6-或7-员环系选择性地熔合一或更 多个苯并基; 但附带条件系 (1)若X0系-CH=CH2且R11系甲基,则R10非苯基或基;且 (2)若X0系-CH=CH2或若X0系-[CH2]h-X,X系OR20且R20系甲基, 则R10及R11一起未形成以-CO-中断之5-,6-或7-员环; R12、R13、R14及R15彼此个别系氢、C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23- 、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R12、R13、R 14及R15系卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、- (CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO) R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19;选择性地,取代基R12、R13、R14及/或R 15经由R12、R13、R14及/或R15基与和R12、R13、R14及/或 R15基结合之苯基上之进一步取代基,或与该苯基环 之一碳原子形成5-、6-或7-员环或熔合环; 其中除氢外,所有R12、R13、R14及/或R15基系选择性 地另外以具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作 用时会裂解; R16,R17及R18彼此个别系氢,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C 30环烷基;以一或更多个-O-,-S-,-NR23,-O(CO)-,或-NR23(CO) -中断之C3-C30环烷基;或R16,R17及R18系卤素,-NO2,-CN,-Ar 1,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR 21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO 2R19及/或-OSO2R19,选择性地,取代基R16,R17,及/或R18经 由R16,R17,及/或R18基与和R16,R17及R18结合之苯基环上 之进一步取代基或与该苯基环之一碳原子形成5-,6 -或7-员环或熔合环; 其中除氢外,所有R16、R17及/或R18基系选择性地另 外以具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作用时 会裂解; 但附带条件系 (3)若X0系-CH=CH2,R16,R17及R18非皆同时系氢; R19系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-, 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基; 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12氧烷基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R19系氢; R20系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)- 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系C2-C18烷醯基,或 系苯醯基,或系C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R20系氢,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,基磺 醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; R21,R22及R23彼此个别系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18 烷基,C1-C8卤烷基,C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O- ,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系 C2-C18烷醯基,苯醯基或C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R21,R22及R23彼此个别系氢,苯基磺醯基,(4-甲基-苯 基)磺醯基,基磺醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; 或R21及R22与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,其选择性地以-O-或以-NR23-中断; 附带条件系 (4)若m系1,X0系-[CH2]h-X,X系OR20或NR21R22且R20系氢,或R21 及R22皆系氢,则R1及R2非皆同时系对-甲苯基或对-氯 苯基; (5)若m系0,X0系-[CH2]h-X,X系NR21R22且R21及R22皆相同且 系烷基,其系以O中断,则R1非嗯基; (6)若X0系-[CH2]h-X,X系OR20,R20系乙基且R8及R9皆系氢, 则R7非丙基; (7)若X0系-CH=CH2,R8及R9皆系氢,n系1,R7系NR21R22且R21系 氢,则R22非正-C3H7,异-C3H7或环己基且R21及R22非皆同 时系烯基; R24系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断之C2-C18烷基 ,或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO)-中 断之C3-C30环烷基; 所有皆系未被取代或以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基, 苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R 22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基 ,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R24系氢; 或R23及R24与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,以选择性地以-CO-或-O-中断,且其另外选择性地 与一或更多个苯并环熔合; R25,R26及R27彼此个别系氢;或苯基或基,二者皆选 择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤基烷基 ,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯 氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷 基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯 醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺 醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲 基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基, 苯醯基及/或以苯醯基氧基取代;或R25,R26及R27系C3-C 18烯基或C3-C18炔基;或R25,R26及R27系C1-C18烷基,以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及C2- C18烷基系选择性地系一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1 -C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯 氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22, C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基, 卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基 取代;或R25及R26,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或-CO-, 一起形成熔合环;或R25,R26及R27,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6-,或7-员环;或R25,R26及R 27与结合之N+-原子一起形成 R28及R29彼此个别系苯基,其系选择性地以一或更多 个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷氧,卤素,-NO 2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯氧基硫基, 苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基 羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯 基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯 基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基, C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯 醯基氧基取代;或R28及R29彼此个别系C1-C18烷基,以 一或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及 C2-C18烷基系选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤基烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧 基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,- NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷 醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4- 甲基苯基)-磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯 基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12 烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基取代;或R 28及R29,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或- CO-,一起形成熔合环;或R28及R29,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6- or 7-员环; R30,R31,R32及R33彼此个别系氢,卤素,C1-C18烷基,C1-C18 烷氧基,C1-C8卤基烷基,CN,NO2,C2-C18烷醯基,苯醯基,苯 基,-S-苯基,OR20,SR23,NR21R22,C2-C6烷氧基羰基,苯氧基 羰基,S(O)pC1-C18烷基,未被取代或以C1-C18烷基取代之 S(O)p-C6-C12芳基,SO2O-C1-C18烷基,SO2O-C6-C10芳基或NHCONH2 ; R34及R35彼此个别具有对R5之意义之一; 或R34及R35一起系-CO-NR23CO-;或R34及R35一起-C(R30)=C(R31 )-C(R32)=C(R33)-; Ar1系苯基,基,基,菲基,或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷 基,C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO )-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素,-NO2,-CN, 苯基,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O( CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR 19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代,选择性地,取代基-(CO)R19,- (CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23( CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19,R20,R21R22及/或R23与苯基,基,基,菲 基,或杂芳基环上之进一步取代基或与苯基,基, 基,菲基,或杂芳基环之一碳原子形成5-,6-或7-员 环; Ar2系伸苯基,伸基, 二伸苯基,氧基二伸苯基或 其中此等基选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR 20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19, -NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19 取代,选择性地,取代基-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O( CO)R19,-O(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20, -NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19经由R19,R20,R21R22 及/或R23与此等基之进一步取代基或与此等基之一 碳原子形成5-,6-或7-员环; M+系 Li+,Na+,K+,Cs+,1/2Mg2+,1/2Ca2+或1/2Ba2+; L-系F-,Cl-,Br-,I-,HSO4-,1/2SO42-,NO3-, ClO4-,BF4-,PF6-,AsF6-,SbF6-,(R50SO2)3C-或(R50SO2)2N-; R36,R37,R38及R39h具有对R25,R26及R27所示意义之一; R40,R41及R42具有R28及R29所示意义之一; R43及R44彼此个别系苯基,其选择性地以一或更多个 Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,- CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基 硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C 2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基 磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基, 苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷 醯基,C2-C12烷磺醯氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基 取代;或R43及R44,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或-CO- 一起,形成熔合环; R45系C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,樟脑基,苯基-C1-C3烷基,C 3-C30环烷基,C4-C30环烯基,苯基,基,基或菲基;其 等皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR 21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO) OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R46及R47彼此个别具有对R5所示意义之一;或R46及R47 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R48及R49彼此个别具有对R5所示意义之一;或R48及R49 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R50系C1-C8-全氟烷基; Q1系-CR35-或-N-;且 Q2系-CH2-,-S-,-O-或-NR23-。 9.一种化学式Ib,IIb,IIIb,IVb或Vb之化合物, 其中, m系0或1; h系2、3、4、5或6; R1,当n系1时,系苯基、基、基、菲基,或杂芳基 ,其所有皆系选择性以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、 -NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代,选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19系经由R19、R20、R21、R22及/或R23基,与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基 或与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之碳原 子之一形成5-、6-或7-员之环; 或R1系氢,但附带条件系R2非同时系氢; 或R1系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO 2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未被 取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C 30环烷基、卤素、NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、O(CO)NR21R22、-NR23( CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO 2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1系C1-C8卤烷基、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑 基; 或若m系0,R1另外系CN、C2-C6烷氧基羰基或苯氧基羰 基,其中C2-C6烷氧基羰基及苯氧基羰基选择性地系 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R1,当n系2时,系伸苯基、伸 基、 、二伸苯基、 氧基二伸苯基或 ,其中此等基系未被取代或以一或更多个 C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1 ,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21 R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R 19及/或-OSO2R19取代, 或 R1系直接键, 其中除氢及直接键外之所有R1基可另外以具-O-C-键 或-O-Si-键之基取代,其可于酸作用时裂解; A1系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)- 、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-; A2系直接键、C1-C18伸烷基或系以一或多个C3-C30伸 环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、- NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18伸烷 基;或选择性地,C1-C18伸烷基及C2-C18伸烷基系以一 或更多个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、- CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O (CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系C3-C30伸环烷基,选择性地以一或更多个-O-、- S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A2系伸苯基、伸基,其中此等基系选择性地以 一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基 、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21 R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、- NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/ 或-OSO2R19取代; R2系R1意义中之一,或系C2-C18烷醯基;苯醯基,其系未 被取代或以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3 -C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR 20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR 23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、 -SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R2系NO2;或R2系S(O)pC1-C18烷 基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C10芳基 、二苯基-膦醯基,其所有皆可选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R1及R2一起形成5-、6-或7-员环,其系未被取代或 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23 (CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar 1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6- 或7-员环可另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1- C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯 基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23( CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO-中断,且对该5-、6-或7 -员环可选择性地熔合一或更多个苯并基; p系1或2; X'系 ; X1及X2彼此个别系-O(CO)-、-O(CO)O-、-O(CO)NR23-、-NR23( CO)-、-NR23(CO)O-、-O-、-NR23-、-S-、-SO-、-SO2-、-OSO2- 、 或X1或X2系直接键,但附带条件系X1及X2非同时皆为 直接键; A3系伸苯基、伸基、 二伸苯基、氧基二伸苯基或 其中此等基系未被取代或以一或多个C1-C18烷基、C 1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、- (CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O (CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、 -SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或A3系直接键、 R3具有对R1所示意义之一;或R3系C2-C18烷醯基;苯醯 基,其系选择性地以一或多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;或R3系NO2;或R3系S(O)pC1 -C18烷基、S(O)p-C6-C12芳基、SO2O-C1-C18烷基、SO2O-C6-C 10芳基、二苯基-膦醯基,其等皆选择性地以一或更 多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以 一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断 之C3-C30环烷基;或系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R 19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO) NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR 23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R4具有对R2所示之意义之一,或R3及R4一起形成5-、6- 或7-员环,其系选择性地系一或更多个C1-C18烷基、C 1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取代;以一或多个-O-、-S- 、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或该5 -、6-或7-员环系以卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、- (CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22 、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代;且该5-、6-或7-员环选 择性地另外以C1-18伸烷基、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤 伸烷基C2-C12伸烯基、C4-C30伸环烯基、伸苯基、伸 基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S (CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断;且选择性地一或更多 个苯并基系被熔合至该5-、6-或7-员环; R5及R6彼此个别系卤素、C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C 3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或 -NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R5及R6系卤素、-NO2、 -CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、- O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20 、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R5及R6一起系-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-或-(CO)NR23(CO) -; G系-S-、-O-、-NR23-,或化学式Z1、Z2、Z3或Z4之基 R7,当n系1时,系苯基、基、基、菲基或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤 烷基、C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-、-S-、-NR 23-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系以卤 素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、 -O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO )OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R 19取代;选择性地,取代基-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R 22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR 23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19、R20、R21、R22及/或R23,基与苯基、 基、基、菲基或杂芳基环上之进一步取代基或 与苯基、基、基、菲基或杂芳基环之一碳原 子形成5-、6-或7-员环; 或R7系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C30伸环烷基 、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)- 、-SO-、-SO2-或-OSO2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R17系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 藉由一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环 烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R 19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R7系氢、C1-C8卤烷基、-OR20、-NR21R22、-NR23(CO)R19 、-SR23、C2-C12烯基、C4-C30环烯基、樟脑基;且 R7,当n系2时,系伸苯基、伸基、 二伸苯基、氧基二伸苯基或 其中此等基系以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷 基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、 -(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R 22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、- SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R7系直接键、 其中除氢及直接键外,所有R7基系选择性地另外以 具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作用时会裂 解; A4系直接键、C1-C18伸烷基、-O-、-S-或-NR23-; R8及R9彼此个别系C1-C18烷基;或系以一或更多个C3-C 30伸环烷基、-O-、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)- 、-NR23(CO)-、-SO-、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷 基;选择性地,C1-C18烷基及C2-C18烷基系以一或更多 个C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系C3-C30环烷基,其选择性地以一或更多个-O -、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择 性地以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30 环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、 -(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO )R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19取代; 或R8及R9系氢、卤素、C1-C8卤烷基、-NO2、-CN、-Ar1 、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20 、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R 22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19; 或R8及R9,若适当,与C1-C4伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; 或R7及R8,若适当,与C1-C3伸烷基、-O-、-S-、-NR23-、-( CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-一起形成5-、6-或7-员环; R10具有对R7所示意义之一; R11系C1-C18烷基;或以一或更多个C3-C30伸环烷基、-O- 、-S-、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-、-S(CO)-、-NR23(CO)-、-SO- 、-SO2-、-OSO2-或-Ar2-中断之C2-C18烷基;选择性地,C1-C 18烷基及C2-C18烷基系以一或更多个C1-C8卤烷基、C3- C30环烷基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20 、-(CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23 (CO)R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、- SO2R19及/或-OSO2R19取代; 或R11系C3-C30环烷基,选择性地以一或更多个-O-、-S- 、-NR23-、-(CO)-、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断,且选择性地 以一或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷 基、卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO) NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19 、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19 及/或-OSO2R19取代; 或R11系氢、C1-C8卤烷基、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-( CO)NR21R22或-SO2R19; 或R10及R11一起形成5-、6-或7-员环,其选择性地以一 或更多个C1-C18烷基、C1-C8卤烷基、C3-C30环烷基取 代;以一或更多个-O-、-S-、-NR23-、-O(CO)-或-NR23(CO)- 中断之C3-C30环烷基;或该5-、6-或7-员环系以卤素、 -NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、-(CO)NR21R22、-O(CO) R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO)R19、-NR23(CO)OR20 、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R19及/或-OSO2R19取 代;且该5-、6-或7-员环选择性地另外以C1-C12伸烷基 、C3-C30伸环烷基、C1-C8卤伸烷基、C2-C12伸烯基、C4 -C30伸环烯基、伸苯基、伸基、-O-、-S-、-NR23-、 -(CO)-、-O(CO)-、-NR23(CO)-、-S(CO)-、-SO-、-SO2-或-OSO2- 中断;且于该5-、6-或7-员环系选择性地熔合一或更 多个苯并基; 但附带条件系 (1)若h系2,X'系-X1-A3-X2-且X1,X2及A3皆系直接键,则R10 及R11未形成以-CO-中断之环; R12、R13、R14及R15彼此个别系氢、C1-C18烷基、C1-C8 卤烷基、C3-C30环烷基;以一或更多个-O-、-S-、-NR23- 、-O(CO)-或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或R12、R13、R 14及R15系卤素、-NO2、-CN、-Ar1、-(CO)R19、-(CO)OR20、- (CO)NR21R22、-O(CO)R19、-O(CO)OR20、-O(CO)NR21R22、-NR23(CO) R19、-NR23(CO)OR20、-OR20、-NR21R22、-SR23、-SOR19、-SO2R 19及/或-OSO2R19;选择性地,取代基R12、R13、R14及/或R 15经由R12、R13、R14及/或R15基与和R12、R13、R14及/或 R15基结合之苯基上之进一步取代基,或与该苯基环 之一碳原子形成5-、6-或7-员环或熔合环; 其中除氢外,所有R12、R13、R14及/或R15基系选择性 地另外以具有-O-C-键或-O-Si-键之基取代,其于酸作 用时会裂解; R19系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-, 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基; 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12氧烷基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R19系氢; R20系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断 之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)- 或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系C2-C18烷醯基,或 系苯醯基,或系C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R20系氢,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,基磺 醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; R21,R22及R23彼此个别系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18 烷基,C1-C8卤烷基,C2-C12烯基,C4-C30环烯基;或系以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基;或系以一或更多个-O- ,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或系 C2-C18烷醯基,苯醯基或C1-C18烷基磺醯基, 所有皆选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧 基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1- C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤 基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯 基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基, (4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基 氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R21,R22及R23彼此个别系氢,苯基磺醯基,(4-甲基-苯 基)磺醯基,基磺醯基,基磺醯基或菲基磺醯基; 或R21及R22与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,其选择性地以-O-或以-NR23-中断; R24系苯基,基,C3-C30环烷基,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C4-C30环烯基;或系以一或更多个-O-中断之C2-C18烷基 ,或系以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO)-,或-NR23(CO)-中 断之C3-C30环烷基; 所有皆系未被取代或以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基, 苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R 22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基 ,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基取代; 或R24系氢; 或R23及R24与和其附接之氮原子一起形成5-,6-或7-员 环,以选择性地以-CO-或-O-中断,且其另外选择性地 与一或更多个苯并环熔合; R25,R26及R27彼此个别系氢;或苯基或基,二者皆选 择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤基烷基 ,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯 氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷 基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯 醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺 醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲 基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基, 苯醯基及/或以苯醯基氧基取代;或R25,R26及R27系C3-C 18烯基或C3-C18炔基;或R25,R26及R27系C1-C18烷基,以一 或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及C2- C18烷基系选择性地系一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1 -C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧基,苯 氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,-NR21R22, C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷醯基, 卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4-甲基 苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯基氧 基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯 基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基 取代;或R25及R26,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或-CO-, 一起形成熔合环;或R25,R26及R27,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6-,或7-员环;或R25,R26及R 27与结合之N+-原子一起形成 R28及R29彼此个别系苯基,其系选择性地以一或更多 个Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷氧,卤素,-NO 2,-CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯氧基硫基, 苯基硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基 羰基,C2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯 基,苯基磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯 基氧基,苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基, C2-C12烷醯基,C2-C12烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯 醯基氧基取代;或R28及R29彼此个别系C1-C18烷基,以 一或更多个-O-中断之C2-C18烷基,且其中C1-C18烷基及 C2-C18烷基系选择性地以一或更多个Ar1,OH,C1-C18烷基 ,C1-C8卤基烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,C1-C12烷氧 基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基硫基羰基,- NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C2-C8卤基烷 醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基磺醯基,(4- 甲基苯基)-磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基,苯基磺醯 基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷醯基,C2-C12 烷醯基氧基,苯醯基及/或藉由苯醯基氧基取代;或R 28及R29,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或- CO-,一起形成熔合环;或R28及R29,若适当与C1-C2伸烷 基,-O-,-S-,或-CO-一起,形成5-,6-or7-员环; R30,R31,R32及R33彼此个别系氢,卤素,C1-C18烷基,C1-C18 烷氧基,C1-C8卤基烷基,CN,NO2,C2-C18烷醯基,苯醯基,苯 基,-S-苯基,OR20,SR23,NR21R22,C2-C6烷氧基羰基,苯氧基 羰基,S(O)pC1-C18烷基,未被取代或以C1-C18烷基取代之 S(O)p-C6-C12芳基,SO2O-C1-C18烷基,SO2O-C6-C10芳基或NHCONH2 ; R34及R35彼此个别具有对R5之意义之一; 或R34及R35一起系-CO-NR23CO-;或R34及R35一起-C(R30)=C(R31 )-C(R32)=C(R33)-; Ar1系苯基,基,基,菲基,或杂芳基, 所有皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷 基,C3-C30环烷基取代;以一或更多个-O-,-S-,-NR23-,-O(CO )-,或-NR23(CO)-中断之C3-C30环烷基;或以卤素,-NO2,-CN, 苯基,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O( CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR 19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代,选择性地,取代基-(CO)R19,- (CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23( CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或- OSO2R19经由R19,R20,R21R22及/或R23与苯基,基,基,菲 基,或杂芳基环上之进一步取代基或与苯基,基, 基,菲基,或杂芳基环之一碳原子形成5-,6-或7-员 环; Ar2系伸苯基,伸基, 二伸苯基,氧基二伸苯基或 其中此等基选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8 卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR 20,-(CO)NR21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19, -NR23(CO)OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19 取代,选择性地,取代基-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-O( CO)R19,-O(CO)OR20,-(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO)OR20,-OR20, -NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19经由R19,R20,R21R22 及/或R23与此等基之进一步取代基或与此等基之一 碳原子形成5-,6-或7-员环; M+系 Li+,Na+,K+,Cs+,1/2Mg2+,1/2Ca2+或1/2Ba2+; L-系F-,Cl-,Br-,I-,HSO4-,1/2SO42-,NO3-, ClO4-,BF4-,PF6-,AsF6-,SbF6-,(R50SO2)3C-或(R50SO2)2N-; R36,R37,R38及R39h具有对R25,R26及R27所示意义之一; R40,R41及R42具有R28及R29所示意义之一; R43及R44彼此个别系苯基,其选择性地以一或更多个 Ar1,OH,C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,C3-C30环烷基,卤素,-NO2,- CN,C1-C12烷氧基,苯氧基,苯氧基羰基,苯基硫基,苯基 硫基羰基,-NR21R22,C1-C12烷基硫基,C2-C12烷氧基羰基,C 2-C8卤基烷醯基,卤基苯醯基,C1-C12烷基磺醯基,苯基 磺醯基,(4-甲基苯基)磺醯基,C1-C12烷基磺醯基氧基, 苯基磺醯基氧基,(4-甲基苯基)磺醯基氧基,C2-C12烷 醯基,C2-C12烷磺醯氧基,苯醯基及/或以苯醯基氧基 取代;或R43及R44,若适当与C1-C2伸烷基,-O-,-S-,或-CO- 一起,形成熔合环; R45系C1-C18烷基,C1-C8卤烷基,樟脑基,苯基-C1-C3烷基,C 3-C30环烷基,C4-C30环烯基,苯基,基,基或菲基;其 等皆选择性地以一或更多个C1-C18烷基,C1-C8卤烷基, C3-C30环烷基,卤素,-NO2,-CN,-Ar1,-(CO)R19,-(CO)OR20,-(CO)NR 21R22,-O(CO)R19,-O(CO)OR20,-O(CO)NR21R22,-NR23(CO)R19,-NR23(CO) OR20,-OR20,-NR21R22,-SR23,-SOR19,-SO2R19及/或-OSO2R19取代; R46及R47彼此个别具有对R5所示意义之一;或R46及R47 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R48及R49彼此个别具有对R5所示意义之一;或R48及R49 一起系-CO-NR23-CO-或-C(R30)=C(R31)-C(R32)=C(R33)-; R50系C1-C8-全氟烷基; Q1系-CR35-或-N-;且 Q2系-CH2-,-S-,-O-或-NR23-。 10.一种组成物,包含 (a)一于酸作用时固化之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一如申请专利范围第8 项所述之化学式Ia,IIa,IIIa,IVa,Va,或VIa之化合物。 11.一种组成物,包含 (a)一于酸作用时固化之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一如申请专利范围第9 项所述之化学式Ib,IIb,IIIb,IVb,或Vb之化合物。 12.一种组成物,包含 (a)一其可溶性于酸作用时增加之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一如申请专利范围第8 项所述之化学式Ia,IIa,IIIa,IVa,Va,或VIa之化合物。 13.一种组成物,包含 (a)一其可溶性于酸作用时增加之化合物;及 (b)作为光敏性酸供体之至少一如申请专利范围第9 项所述之化学式Ib,IIb,IIIb,IVb,或Vb之化合物。 14.一种交联可于酸作用下被交联之化合物之方法, 该方法包含添加如申请专利范围第8或9项所述之 化学式Ia,Ib,IIa,IIb,IIIa,IIIb,IVa,IVb,Va,Vb或Vla之化合物 至上述化合物及以具150-1500 nm波长之光线影像式 照射或于整个区域照射。 15.如申请专利范围第14项之方法,其系用以制造表 面涂覆物、印刷墨水、印刷板、齿科组成物、滤 色器、化学放大光阻材料、光阻物或影像记录材 料,或用以记录全息摄影影像之影像记录材料。
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