发明名称 PROCEDE DE PRELEVEMENT DE COUCHE
摘要
申请公布号 FR2888400(B1) 申请公布日期 2007.10.19
申请号 FR20050007300 申请日期 2005.07.08
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 AULNETTE CECILE;CAYREFOURCQ IAN;MAZURE CARLOS
分类号 H01L21/30;H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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