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发明名称 Verbesserte integrierte Mehrschicht-Testflächen und Methode dafür
摘要
申请公布号 DE69838362(D1) 申请公布日期 2007.10.18
申请号 DE1998638362 申请日期 1998.05.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ALSWEDE, FRANK;MENDELSON, RON;DAVIES, WILLIAM;PREIN, FRANK;HOYER, RONALD
分类号 H01L21/66;H01L23/485;H01L23/58 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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