涂布方法、涂布装置及记忆媒体

摘要

在涂布扫描之最后阶段，藉由瞬间性上昇扫描速度，使至此附着或追随于光阻喷嘴之下部侧面78b之弯月面之光阻液膨胀部RQ，自光阻喷嘴78分离，最理想是被丢置于保证区域境界Lx附近。然后，紧接着扫描结束之后，使光阻喷嘴在基板G上执行吸回，依此去除涂布扫描终端部之多于光阻液，此时藉由上述被丢置的光阻液膨胀部RQ消除吸回之影响，依此防止保证区域Es内之光阻膜厚成为设定值或是容许范围以下。