| 主权项 |
1.一种晶圆测试机之组合套件,包括: 一定位支撑架,系设在一探测装置上,且该定位支 撑架表面周缘设有复数个第一定位单元;及 一定位组,系设在接近一测试装置之复数个介面单 元所围绕的区域周围之位置上,该定位组设有与该 等第一定位单元相匹配的第二定位单元,该第一定 位单元及第二定位单元相连接在一起,该测试装置 所设之第一接点即能搭接在该探测装置所设之第 二接点快速的相接在一起。 2.如请求项1所述之组合套件,其中该定位支撑架包 括: 一第一环状体;及 一第二环状体,系设在该第一环状体底端之内缘, 该等环状体之间恰形成供安装该探测装置之一探 针卡之一容置槽。 3.如请求项2所述之组合套件,其中该等第一定位单 元系设在该第一环状体的表面的位置,系为限定该 测试装置安装在该探测装置方向及位置。 4.如请求项3所述之组合套件,其中该等第一定位单 元分别包括: 一块体;及 一套体,系设在该块体内,且该套体的中央位置系 设有一穿孔。 5.如请求项4所述之组合套件,其中而该定位组尚包 括复数个片体,该等片体上至少具有一个第二定位 单元,且该等片体上设有复数个接合孔,而该第二 定位单元系为匹配该穿孔的一锥柱体。 6.如请求项2所述之组合套件,其中该第一环状体内 缘靠近其顶端之位置,系设有朝中央凸出的复数个 凸柱体;及 而该组合套件尚包括一旋转环,该旋转环系设在该 等介面单元所围绕的区域周围,该旋转环接近该等 介面单元之一侧设有分别匹配其中一个凸柱体之 复数个缺口,该等缺口靠近该等介面单元之一侧, 系逐渐朝向接近该等介面单元之方向倾斜,而该等 缺口远离该等介面单元之一侧于接近该等介面单 元的一部份,系逐渐朝该等缺口底端之方向倾斜, 另一部份则沿与该等介面单元平行的方向向该等 缺口底端延伸。 7.如请求项6所述之组合套件,其中在该旋转环之顶 端设有二把手。 8.如请求项6所述之组合套件,其中该旋转环系设在 该第一环状体内缘接进其顶端之位置,该旋转环接 近该等介面单元之一侧设有分别匹配其中一个凸 柱体之复数个缺口,该等缺口靠近该等介面单元之 一侧,系逐渐朝向远离该等介面单元之方向倾斜, 而该等缺口远离该等介面单元之一侧于接近该等 介面单元的一部份,系逐渐朝该等缺口底端之方向 倾斜,另一部份则沿与该等介面单元平行的方向向 该等缺口底端延伸。 9.如请求项1所述之组合套件,其中,该探测装置相 对安装该定位支撑架之位置设有一开口,该开口在 该定位支撑架周围之位置设有一套环体,该套环体 的中央设有匹配该定位支撑架之另一开口。 图式简单说明: 第1图系习知晶圆测试机之示意图; 第2图系介面单元之示意图; 第3图系探针卡之一面之示意图; 第4图系探针卡之另面之示意图; 第5图系本创作之晶圆测试机之示意图; 第6图系本创作之第一接点与第二接点相互搭接之 示意图; 第7图系本创作之定位支撑架之示意图; 第8图系本创作之另一晶圆测试机之示意图; 第9A图本创作之一定位组之示意图; 第9B图本创作之另一定位组之示意图; 第10图本创作之套环体与定位支撑架相接之示意 图。 |
