| 主权项 |
1.一种由一光罩与一光罩固持器所组成之组件,其 中该光罩固持器(1)之状态系可于一型闭合光罩阻 塞状态与一光罩释放状态之间进行调整,其中当该 光罩固持器(1)处于该阻塞状态时,该光罩固持器(1) 系配置成于至少一方向(X、Y、Z)至少以一型闭合 方式来固持该光罩(MA),当该光罩固持器(1)处于该 释放状态时,该光罩固持器(1)系配置成释放该光罩 (MA)。 2.如请求项1之组件,其中该光罩固持器包含至少一 可于一光罩阻塞位置与一光罩释放位置之间移动 以分别提供该型闭合阻塞状态及该释放状态的可 移动式光罩保持元件(2),其中该至少一可移动式光 罩保持元件(2)系配置成固定于该阻塞位置中。 3.如请求项2之组件,其中当该等光罩保持元件(2)中 之每一者位于该阻塞位置且该光罩(MA)由该光罩固 持器(1)固持时,则该光罩保持元件(2)与该光罩(MA) 之间的距离小于约1 m。 4.如请求项3之组件,其中当每一光罩保持元件(2)位 于该释放位置时,则该光罩保持元件(2)与该光罩(MA )之间的距离大于约1 m,特定言之大于约100 m, 更特定言之大于约1 mm。 5.如请求项1、2、3或4之组件,其中该光罩固持器(1) 包含至少一种物质(102),例如一可冻结流体、一铁 磁性流体及/或热塑性塑料,可使其处于一固体状 态及一可变形状态以分别提供该型闭合阻塞状态 及该释放状态。 6.如请求项1、2、3或4之组件,其中该光罩固持器(1) 包含至少一非可移动式光罩保持元件(3),其系配置 成邻接该光罩(MA)之至少部分以用该型闭合方式来 固持该光罩(MA)。 7.如请求项1、2、3或4之组件,其中该光罩固持器包 含一用于支撑该光罩之一侧面的支撑框架(1)。 8.一种包含一由一光罩(MA)与一光罩固持器(201)所 组成之一组件以及至少一侦测(250)之系统,其中该 光罩(MA)包含一或多个标记(MRK),其中该光罩固持器 (201)及该侦测器(250)系配置成相对于彼此运动地对 准,其中该侦测器(250)系配置成侦测该等光罩标记( MRK),藉此以相对于该光罩固持器(201)方式来定位该 光罩(MA),其中该系统较佳包含至少一储存箱(210), 用于至少在该光罩(MA)相对于该光罩固持器(201)之 该定位期间储存该组件(MA、201)。 9.如请求项8之系统,其中该组件为如请求项1之组 件,使得当该光罩固持器(201)处于该阻塞状态时,该 光罩固持器(201)系配置成于至少一方向(X、Y、Z)至 少以一型闭合方式来固持该光罩(MA),且当该光罩 固持器(201)处于该释放状态时,该光罩固持器(201) 系配置成释放该光罩(MA)。 10.如请求项8或9之系统,其包含一用于使该光罩(MA) 及该光罩固持器(201)相对于彼此移动之机构(203、 204),且较佳包含一用于当该组件(MA、201)位于该储 存箱(210)中时移动该光罩(MA)之机构(203、204)。 11.如请求项8或9之系统,其包含一用于支撑该光罩 固持器(201)之支撑结构(251),其中该结构分别包含 配置成分别与该光罩固持器(201)之该等对接孔隙 或对接元件合作以将该光罩固持器运动地对接于 该支撑结构(251)上的对接元件(211)或对接孔隙,其 中该侦测器(250)位于某一相对于该支撑结构(251)之 侦测位置,藉此于使用期间侦测该等光罩标记(MRK) 。 12.如请求项11之系统,其中该侦测器(250)系附着至 该支撑结构(251)。 13.如请求项11之系统,其中该支撑结构包含用于与 一光罩固持器(201)之至少三个运动槽合作的至少 三个运动支撑点。 14.如请求项8或9之系统,其中该侦测器包含至少一 用于侦测该标记(MRK)之光学感测器(253)。 15.如请求项8或9之系统,其中该侦测器至少包含至 少一用于放大该等标记(MRK)中至少一者之一影像 的光学元件(252),例如显微镜光学器件。 16.如请求项8或9之系统,其中该侦测器包含用于侦 测该标记(MRK)至少一之电子相机,例如一CCD相机。 17.一种支撑结构,例如根据请求项11之一系统的一 支撑结构,其系配置成用于将一光罩固持器(201)运 动地对接于其上,其中该支撑结构(251)亦较佳配置 成用于当将该光罩固持器(201)固持于一光罩固持 器储存箱(210)中时运动地对接该储存箱(210)。 18.如请求项17之支撑结构,其包含配置成分别与该 光罩固持器(201)之第一对接孔隙或第一对接元件 合作的第一对接元件(211)或第一对接孔隙,其中该 支撑结构(251)较佳亦分别包含配置成分别与该光 罩固持器储存箱(210)之第二对接孔隙或第二对接 元件合作的第二对接元件(221)或第二对接孔隙。 19.一种光罩固持器,其中该光罩固持器之状态系可 于一型闭合光罩阻塞状态与一光罩释放状态之间 进行调整,其中当该光罩固持器处于该阻塞状态时 ,该光罩固持器系配置成于至少一方向(X、Y、Z)至 少以一型闭合方式来固持一光罩(MA),当该光罩固 持器处于该释放状态时,该光罩固持器系配置成释 放该光罩。 20.一种储存箱,其系配置成包含由一光罩与一光罩 固持器所组成之一组件,其中该光罩固持器之状态 系可于一型闭合光罩阻塞状态与一光罩释放状态 之间进行调整,其中当该光罩固持器处于该阻塞状 态时,该光罩固持器系配置成于至少一方向(X、Y、 Z)至少以一型闭合方式来固持该光罩,当该光罩固 持器处于该释放状态时,该光罩固持器系配置成释 放该光罩。 21.如请求项20之储存箱,其包含至少一保持器(12), 该保持器(12)系配置成当该保持器(12)处于一固持 器保持状态时保持该光罩固持器(1),其中该保持器 (12)系配置成当该保持器(12)处于一固持器释放状 态时释放该光罩固持器(1)。 22.一种储存箱,其系配置成用于储存一包含至少一 光罩(MA)及一光罩固持器(1)之组件,其中该储存箱 具有至少一保持器(12),该至少一保持器(12)系配置 成当该保持器(12)处于一固持器保持状态时保持该 光罩固持器(1),其中该保持器(12)系配置成当该保 持器(12)处于一固持器释放状态时释放该光罩固持 器(1)。 23.如请求项20之储存箱,其中该储存箱系配置成与 请求项17或18之一支撑结构合作,以将该储存箱运 动地对接于其上,其中该储存箱(210)之至少部分(214 ')较佳为光学透明的,使得该侦测(250)可于使用期 间侦测该光罩标记(MRK)。 24.一种微影装置,包含: 一用于提供一投影辐光束之照明系统; 一用于支撑图案化构件之支撑结构,该图案化构件 用于在该投影束之横截面中给予其一图案; 一用于固持一基板之基板台;及 一投影系统,其用于将该图案化光束投射至该基板 之一目标部分上, 其中该装置包含至少一如请求项1、2、3或4之组件 及/或至少一如请求项8或9之系统及/或至少一如请 求项17或18之支撑结构及/或一如请求项19之光罩固 持器及/或至少一如请求项20之储存箱。 25.一种半导体装置之制造方法,其中提供一基板, 其中使用一照明系统来提供一投影辐光束,其中使 用图案化构件来在该投影束之横截面中给予其一 图案,且其中将该图案化之辐光束投射至该基板之 一目标位置上,其中将至少一如请求项1、2、3或4 之组件及/或至少一如请求项8或9之系统及/或至少 一如请求项17或18之支撑结构及/或一如请求项19之 光罩固持器及/或至少一如请求项20之储存箱用于 光罩操纵。 26.一种如请求项19之一光罩固持器之用途,其中该 光罩固持器(1)于至少一方向(X、Y、Z),且较佳于至 少两方向(X、Y)以一型闭合方式来固持一光罩(MA) 。 27.一种用于相对于一光罩固持器(201)来对准一光 罩(MA)之方法,其中该光罩包含一或多个标记(MRK), 其中相对于至少一侦测器(250)来运动地对准该光 罩固持器(201),在此之后,利用该侦测器(250)对该等 标记(MRK)之侦测来以相对于该光罩固持器(201)方式 定位该光罩,且其中在相对于该光罩固持器定位该 光罩之后,将该光罩固定至该光罩固持器(201)。 28.如请求项27之方法,其中使该光罩(MA)及该光罩固 持器(201)相对于彼此以此一方式移动,使得相对于 该侦测器(250)之一或多个光学感测器来对准该光 罩之一或多个标记(MRK)。 29.如请求项27或28之方法,其中使用一如请求项1、2 、3或4之由一光罩与一光罩固持器所组成之组件 及/或一如请求项8或9之系统。 30.如请求项27或28之方法,其中藉由三个运动支撑 点与三个运动槽合作来达成此运动对准。 31.如请求项27或28之方法,其中首先将该光罩(MA)及 该光罩固持器(1、201)之该组件置放于一储存箱(10 、210)中,在此之后使该光罩(MA)及该光罩固持器(1 、201)相对于彼此运动地对准。 32.如请求项27或28之方法,其中该侦测器(250)具有一 相对于一支撑结构(251)之预定位置,其中将该光罩( MA)及该光罩固持器(201)之该组件置放于一储存箱( 210)中,其中相对于该支撑结构(251)运动地对准该储 存箱(210),其中相对于该支撑结构(251)运动地对准 该光罩固持器(201)。 33.如请求项27或28之方法,其中相对于该光罩固持 器来定位该光罩,使得该光罩获得相对于该固持器 之某一所要位置,例如一预定位置,该位置适于将 该光罩置放于一微影装置之一光罩支撑结构(MT)上 ,而无需相对于该光罩固持器再次重定位该光罩。 图式简单说明: 图1描绘根据本发明之一实施例的微影装置; 图2示意性地展示本发明之第一实施例的部分展开 侧视图,其中光罩与光罩固持器均储存于储存箱中 ; 图3展示类似于图2之视图,其中在无光罩之情况下 将光罩固持器固持在储存箱中; 图4展示类似于图2之视图,其中自储存箱移除光罩 固持器; 图5示意性地展示根据本发明之第二实施例之光罩 及光罩固持器之组件的俯视图; 图6示意性地展示本发明之第二实施例之另一态样 的部分展开侧视图,其中使用型闭合将光罩横向固 定于储存箱中; 图7示意性地展示类似于图5之本发明之第三实施 例的俯视图; 图8示意性地展示类似于图5之本发明之第四实施 例的俯视图; 图9示意性地展示本发明之第五实施例的侧视图; 且 图10示意性地展示本发明之第六实施例的俯视图 。 |
