发明名称 单晶体随机存取记忆胞、记忆体装置及其制造方法
摘要 提供一单晶体随机存取记忆胞的系统以及装置,包括:一基底(subtrate)、一由第一导电型(conductivity type)在基底中形成的井区(well)耦接以接收第一电压、一第一闸极(gate)形成于基底中并耦接到字元线、一以第二种导电型在前述井区中形成的掺杂(doped)区,其形成在前述第一闸极的第一边上且耦接到一位元线上、以及一第二闸极形成在基底中以及前述第一闸极的第二边上并耦接以接收第二电压,其中第二电压施加于第二闸极并在第二闸极之下之前述井区中形成一个反转区。其他的系统及方法也在本发明中提及。
申请公布号 TWI288481 申请公布日期 2007.10.11
申请号 TW094118726 申请日期 2005.06.07
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 邹宗成
分类号 H01L29/76(2006.01);H01L21/335(2006.01) 主分类号 H01L29/76(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种单晶体随机存取记忆胞,包括: 一基底; 一由第一导电型在基底中形成的井区耦接以接收 第一电压; 一第一闸极形成于基底中并耦接到字元线; 一以第二种导电型在前述井区中形成的第一掺杂 区,其形成在前述第一闸极的第一边上且耦接到一 位元线上; 一第二闸极形成在基底中以及前述第一闸极的第 二边上并耦接以接收第二电压,其中第二电压施加 于第二闸极并在第二闸极之下之前述井区中形成 一个反转区;以及 一以第一种导电型在前述第二闸极下之前述井区 中形成的第二掺杂区,其掺杂浓度低于前述井区中 的掺杂浓度。 2.如申请专利范围第1项所述之单晶体随机存取记 忆胞,其中第一及第二导电型分别为N型及P型。 3.如申请专利范围第1项所述之单晶体随机存取记 忆胞,其中第一及第二电压分别为Vdd以及VBB。 4.如申请专利范围第1项所述之单晶体随机存取记 忆胞,其中字元线被耦接以于该记忆胞不被选取时 接收第二电压并于该记忆胞被选取时接收一高于 第一电压的第三电压。 5.如申请专利范围第1项所述之单晶体随机存取记 忆胞,其于第一闸极下的井区中进一步包括一通道 植入区。 6.一种记忆体装置,包括: 复数的记忆胞,其中资料透过被字元线控制的位元 线读取及写入个别记忆胞,个别的记忆胞包括: 一基底; 一由第一导电型在基底中形成的井区耦接以接收 第一电压; 一第一闸极形成于基底中并耦接到字元线; 一以第二种导电型在前述井区中形成的第一掺杂 区,其形成在前述第一闸极的第一边上且耦接到一 位元线上; 一第二闸极形成在基底中以及前述第一闸极的第 二边上并耦接以接收第二电压,其中第二电压施加 于第二闸极并在第二闸极之下之前述井区中形成 一个反转区;以及 一以第一种导电型在前述第二闸极下之前述井区 中形成的第二掺杂区,其掺杂浓度低于前述井区中 的掺杂浓度。 7.如申请专利范围第6项所述之记忆体装置,其中第 一及第二导电型分别为N型及P型。 8.如申请专利范围第6项所述之记忆体装置,其中第 一及第二电压分别为Vdd以及VBB。 9.如申请专利范围第6项所述之记忆体装置,其中字 元线被耦接以于该记忆胞不被选取时接收第二电 压并于该记忆胞被选取时接收一高于第一电压的 第三电压。 10.如申请专利范围第6项所述之记忆体装置,其于 第一闸极下的井区中进一步包括一通道植入区。 11.一种制造单晶体随机存取记忆胞的方法,包括下 列步骤: 提供一基底; 由第一导电型在基底中形成一井区; 在井区中植入一低Vt植入区以形成一低Vt元件; 于该井区上形成一第一闸极; 于该低Vt植入区上方,形成一第二闸极,并使该第二 闸极形成位于该第一闸极之第一边上;以及 由第二导电型在井区中形成一掺杂区,其位于第一 闸极的第二边上。 12.如申请专利范围第11项所述之制造单晶体随机 存取记忆胞的方法,其中第一及第二导电型分别为 N型及P型。 图式简单说明: 第1图表示一传统记忆胞包括一储存电容以及一存 取电晶体。 第2A~2D图表示一传统半导体记忆装置中之自动再 新装置及信号的方块图。 第3图是一个表示根据一个本发明提出实施例之记 忆体装置的方块图。 第4图表示一在阵列中,根据本发明第一个提出的 实施例之记忆胞之侧面视图。 第5图表示一在阵列中,根据本发明第二个提出的 实施例之记忆胞之侧面视图。 第6图表示一在阵列中,根据本发明第三个提出的 实施例之记忆胞之侧面视图。 第7图表示一在阵列中,根据本发明第四个提出的 实施例之记忆胞之侧面视图。 第8A~8C图中是表示根据本发明提出的一个实施例 中单晶体记忆胞之制作过程的一系列视图方块。 第9A~9C图中是表示根据本发明提出的另一个实施 例中单晶体记忆胞之制作过程的一系列视图方块 。 第10A及10B图表示第4图中记忆体图操作的方块图。
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