MICROMECHANICAL HOUSING COMPRISING AT LEAST TWO CAVITIES HAVING DIFFERENT INTERNAL PRESSURE AND/OR DIFFERENT GAS COMPOSITIONS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum späteren Vereinzeln unter Ausbildung aktive Strukturen enthaltender Bauteile, sowie ein entsprechendes, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil, wobei das Vielfach-Bauelement bzw. das Bauteil ein flächiges Substrat und eine ebenfalls flächig ausgebildete Kappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum pro genanntem Bauteil umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen solcher Bauelemente bzw. Bauteile, für welches Gasmischungen aus verschiedenen Gasarten eingesetzt werden, die ein unterschiedliches Absorptionsverhalten gegenüber dem Gettermaterial aufweisen.