| 发明名称 |
METHOD OF FORMING OPTICAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1315005(B1) |
申请公布日期 |
2007.10.10 |
| 申请号 |
EP20010961191 |
申请日期 |
2001.08.30 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
ISHIZAWA, HITOSHI;MURATA, TSUYOSHI |
| 分类号 |
G02B1/10;C03C17/00;C03C17/34;G02B1/11;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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