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发明名称 Nanocrystal flash memory device and manufacturing method therefor
摘要
申请公布号 EP1304730(A3) 申请公布日期 2007.10.10
申请号 EP20020256661 申请日期 2002.09.25
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 CHOI, WEE KIONG;CHIM, WAI KIN;NG, VIVIAN;CHAN, LAP
分类号 H01L21/8247;C23C14/58;H01L21/28;H01L21/316;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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