发明名称 真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置
摘要 本发明涉及一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置,它由泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座组成,泡沫炭保温底座设置在真空感应气相沉积炉的底座上,泡沫炭保温桶套在石墨发热体的外面,并与石墨发热体一起置于泡沫炭保温底座的上面,泡沫炭保温盖设置在泡沫炭保温桶的上面,泡沫炭保温盖上开有通气孔。本发明具有保温效果好,使用寿命长,操作简便等特点,可以有效提高真空感应炉的保温效果,降低热量损耗。
申请公布号 CN101050521A 申请公布日期 2007.10.10
申请号 CN200710017914.9 申请日期 2007.05.23
申请人 西安超码科技有限公司 发明人 苏君明;薛宁娟;李永军;孟凡才;李睿;邢如鹏;彭志刚;肖志超;邓红兵;吴大云
分类号 C23C16/26(2006.01);C23C16/52(2006.01) 主分类号 C23C16/26(2006.01)
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 谭文琰
主权项 1、一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置,其特征在于它由泡沫炭保温盖(1)、泡沫炭保温桶(3)和泡沫炭保温底座(4)组成,泡沫炭保温底座(4)设置在真空感应气相沉积炉的底座(5)上,泡沫炭保温桶(3)套在石墨发热体(2)的外面,并与石墨发热体(2)一起置于泡沫炭保温底座(4)的上面,泡沫炭保温盖(1)设置在泡沫炭保温桶(3)的上面,泡沫炭保温盖(1)上开有通气孔(6)。
地址 710025陕西省西安市101信箱
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