发明名称 |
真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置 |
摘要 |
本发明涉及一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置,它由泡沫炭保温盖、泡沫炭保温桶和泡沫炭保温底座组成,泡沫炭保温底座设置在真空感应气相沉积炉的底座上,泡沫炭保温桶套在石墨发热体的外面,并与石墨发热体一起置于泡沫炭保温底座的上面,泡沫炭保温盖设置在泡沫炭保温桶的上面,泡沫炭保温盖上开有通气孔。本发明具有保温效果好,使用寿命长,操作简便等特点,可以有效提高真空感应炉的保温效果,降低热量损耗。 |
申请公布号 |
CN101050521A |
申请公布日期 |
2007.10.10 |
申请号 |
CN200710017914.9 |
申请日期 |
2007.05.23 |
申请人 |
西安超码科技有限公司 |
发明人 |
苏君明;薛宁娟;李永军;孟凡才;李睿;邢如鹏;彭志刚;肖志超;邓红兵;吴大云 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01);C23C16/52(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01) |
代理机构 |
西安创知专利事务所 |
代理人 |
谭文琰 |
主权项 |
1、一种真空感应气相沉积炉用泡沫炭保温装置,其特征在于它由泡沫炭保温盖(1)、泡沫炭保温桶(3)和泡沫炭保温底座(4)组成,泡沫炭保温底座(4)设置在真空感应气相沉积炉的底座(5)上,泡沫炭保温桶(3)套在石墨发热体(2)的外面,并与石墨发热体(2)一起置于泡沫炭保温底座(4)的上面,泡沫炭保温盖(1)设置在泡沫炭保温桶(3)的上面,泡沫炭保温盖(1)上开有通气孔(6)。 |
地址 |
710025陕西省西安市101信箱 |