发明名称 |
炉管产能监视系统及其运作方法 |
摘要 |
一种炉管产能监视系统及其运作方法。此炉管产能监视系统通过将由炉管中所撷取到的实际产能资料与标准产能资料做比较,因此由实际产能资料与标准产能资料的差异,即可做为将来制作工艺改善的依据,而使制作工艺更臻于完美。 |
申请公布号 |
CN100342485C |
申请公布日期 |
2007.10.10 |
申请号 |
CN03142470.8 |
申请日期 |
2003.06.10 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
谢琼芳;林隆藩;陈静仪;叶景丰;刘其勇;林书颂 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);F24C7/08(2006.01);G06F17/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王学强 |
主权项 |
1、一种炉管产能监视系统,包括:一撷取模块,用以撷取一炉管中的一实际参数资料;一数据库,用以储存复数个固定标准参数资料、复数个实时标准参数资料、以及该实际参数资料;一计算模块,该计算模块根据该些固定标准参数资料及该些实时标准参数资料而直接由该计算模块计算出一标准产能资料,并且该计算模块根据该实际参数资料而直接由该计算模块计算出一实际产能资料;一选择模块,该选择模块通过一使用者而选择一分析参数;一比较模块,该比较模块根据该分析参数,而直接由该比较模块将该标准产能资料及该实际产能资料做比较,并且根据比较结果产生一比较报告;以及一输出模块,用以输出该标准产能资料、该实际产能资料、以及该比较报告至该使用者。 |
地址 |
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 |