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发明名称 METHOD FOR THE PLASMA TREATMENT OF SURFACES UNDER VACUUM
摘要
申请公布号 EP1565929(B1) 申请公布日期 2007.10.10
申请号 EP20030769144 申请日期 2003.11.13
申请人 OC OERLIKON BALZERS AG 发明人 KADLEC, STANISLAV;KUEGLER, EDUARD;HALTER, THOMAS
分类号 H01J37/34;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;C23C16/50;C23C16/52 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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