摘要 |
<p>Dispositif de mesure interférométrique (1) comportant une source de rayonnement à cohérence courte (20) et un dispositif formé d'un interféromètre à modulation (2) ayant un premier et un second chemin de rayon interférométrique de modulation (24, 25) suivi d'un interféromètre de référence (3), le faisceau étant divisé dans l'interféromètre de référence (3) en un premier faisceau (35) et un second faisceau (36), caractérisé en ce que dans au moins l'un des chemins de faisceau (35, 36) l'interféromètre de référence (3) on a un composant optique dispersif (10).</p> |