<p>Die Erfindung betrifft ein Rohrtarget mit einem Trägerrohr und einem darauf angeordneten Sputtertargetmaterial, wobei das Sputtertargetmaterial aus in Längsrichtung oder in Längsrichtung und Umfangsrichtung mehrfach segmentierten Zylinderschalen gebildet ist.</p>
申请公布号
WO2007110172(A1)
申请公布日期
2007.10.04
申请号
WO2007EP02446
申请日期
2007.03.20
申请人
W. C. HERAEUS GMBH;PREISSLER, PETER;SIMONS, CHRISTOPH;WEIGERT, MARTIN
发明人
PREISSLER, PETER;SIMONS, CHRISTOPH;WEIGERT, MARTIN
