发明名称 |
第13族元素氮化物结晶之制造方法以及融液组合物 |
摘要 |
明系利用助熔剂法在融液内制造第13族元素氮化物的方法,其中,融液系将第13族元素原料、及硷金属与硷土族金属中之至少其中一原料、以及液态锗原料的组合物予以加热而生成。藉此,当利用助熔剂法在融液内制造第13族元素氮化物结晶时,可抑制所获得第13族元素氮化物结晶的载子浓度等特性之面内分布。
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申请公布号 |
TWI530594 |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
申请号 |
TW102111347 |
申请日期 |
2013.03.29 |
申请人 |
日本碍子股份有限公司 |
发明人 |
坂井正宏;岩井真 |
分类号 |
C30B19/02(2006.01);C30B29/38(2006.01) |
主分类号 |
C30B19/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
主权项 |
一种第13族元素氮化物结晶之制造方法,系利用助熔剂法在融液内制造第13族元素氮化物结晶的方法,其特征在于:上述融液系将第13族元素原料、及硷金属与硷土族金属中之至少其中一原料、以及液态锗原料的组合物施行加热而生成,上述锗原料是在25℃、大气压下呈液状的锗化合物。
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地址 |
日本 |