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发明名称 HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100762809(B1) 申请公布日期 2007.10.02
申请号 KR20040091404 申请日期 2004.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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