| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD TO DETECT CORRECT CLAMPING OF AN OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG135017(A1) |
申请公布日期 |
2007.09.28 |
| 申请号 |
SG20040005583 |
申请日期 |
2004.02.10 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
NEERHOF, HENDRIK ANTONY JOHANNES |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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