| 发明名称 |
MIKROKOMPONENTE MIT EINER HERMETISCHEN MIKROKAVITÄT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SOLCH EINER MIKROKOMPONENTE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004008331(D1) |
申请公布日期 |
2007.09.27 |
| 申请号 |
DE200460008331T |
申请日期 |
2004.12.14 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
ROBERT, PHILIPPE |
| 分类号 |
B81B7/00;G01P1/02;H01L21/54;H01L21/56;H01L23/10 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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