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发明名称 Verbesserter Träger für Waferbehälter und Verfahren zum Beladen von zwei Waferbehältern
摘要
申请公布号 DE60129870(D1) 申请公布日期 2007.09.27
申请号 DE20016029870 申请日期 2001.03.21
申请人 AMTECH SYSTEMS INC. 发明人 MARTIN, JOHN M.;HARRISON, ARTHUR W.;EDWARDS, ALLEN D.
分类号 H01L21/68;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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