| 发明名称 | 氧化铝烧结体 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是降低在第1主面(SF<SUB>1</SUB>)和埋设电极(2)之间的氧化铝基体(1)上产生的裂纹的发生率。所采用的方法是，氧化铝烧结体具备：具有相对的第1主面和第2主面的氧化铝基体(1)；在离第1主面(SF<SUB>1</SUB>)0.4毫米以下深度H<SUB>D</SUB>由埋设在氧化铝基体(1)内的金属构成的膜状的埋设电极(2)；在比埋设电极(2)更靠第2主面(SF<SUB>2</SUB>)侧埋在氧化铝基体(1)内的金属做成的埋设端子(3)。埋设端子(3)与埋设电极(2)接触，埋设电极(2)的膜厚H<SUB>E</SUB>在25微米以下。 | ||
| 申请公布号 | CN101042993A | 申请公布日期 | 2007.09.26 |
| 申请号 | CN200710089470.X | 申请日期 | 2007.03.23 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 服部亮誉;森丰;曻和宏 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/683(2006.01);C23C16/00(2006.01);C23C16/458(2006.01);C23C16/46(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 1.一种氧化铝烧结体，其特征在于，具备：具有相对的第1主面和第2主面的氧化铝基体；在离所述第1主面0.4毫米以下的深度由埋在所述氧化铝基体内的金属构成的膜状的埋设电极；以及，在比所述埋设电极更靠第2主面侧由埋在所述氧化铝基体内的金属构成的埋设端子，所述埋设端子与所述埋设电极接触，所述埋设电极的膜厚在25微米以下。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||