一种用于可转动靶材溅射设备的端块

摘要

本发明公开了一种用于在真空涂敷装置中的电激励可转动管状靶材的端块，所述端块具有一个可转动的电接触件，其在以交流电模式下操作时降低焦耳生热效应。当与已知的端块比较时，本发明可获得增加接触环(410)和一系列周向安装的接触极靴(450)之间的接触面积。另外，接触极靴通过弹性件沿径向向外地压靠接触环。

主权项

1.一种用于激励可转动溅射靶材的端块，其包括：圆柱形插座和同轴安装在所述插座内侧的心轴，所述插座和心轴可彼此相对转动，所述插座包括至少一个用于形成接电端的电接触环，其特征在于：所述心轴包括至少两个导电极靴，所述极靴用于确保与所述环的内表面形成电滑动接触，沿径向向外，通过至少一个弹性件将每一所述极靴压在所述内表面上，所述极靴平行于所述心轴电连接在一起。