可置换式镀膜舱之镀膜装置

摘要

一种可置换式镀膜舱之镀膜装置，其具有至少一镀膜舱，俾供一待镀膜之元件可置于该镀膜舱内进行镀膜，并以一连接器，整合抽气管路、进气管路、控制回路、冷却管路做为真空泵、外部气体供应源、控制系统及冷却管线与镀膜舱截断或连结。