藉由单一步骤金属有机化学蒸气沉积法(MOCVD)制造之具有积集波导光栅的隐埋式异质结构元件

摘要

本发明所揭露之元件系为一光电元件或透明波导元件，其包含一成长表面、一成长罩幕、一光学波导核心台面及一包覆层。成长罩幕设置于半导体表面上且界定一具有一周期性光栅轮廓之长形窗口。光学波导核心台面系设置于成长窗口中且具有一梯形横剖面形状。包覆层系覆盖光学波导核心台面且延伸于成长罩幕的至少部分上方。藉由提供一包含一成长表面之晶圆、利用一第一成长温度的微选择性区域成长将一光学波导核心台面成长于成长表面上及以一低于第一成长温度的第二成长温度由包覆材料来覆盖光学波导核心台面藉以制造此等元件。