曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法

摘要

本发明系藉由图案像生成装置(10, 12, PL)生成图案像，使用检测系统(42, 48)以光电方式检测该生成之图案像、或生成而形成在物体上之图案像的至少一部分。修正装置(32)根据该检测结果修正待输入至图案像生成装置之设计资料。因此，对应此修正后设计资料之输入，藉图案像生成装置于物体(P)上生成图案像，以该图案像使物体曝光，即能以良好精度于物体上形成所欲图案。