喷涂用光阻组成物及层合物

摘要

本发明系揭示一种层合物，其为使用含有改性矽氧烷系表面活性剂之光阻组成物，以喷涂法于被涂布面设置段差H为10至1000μm之阶段部1的基板上形成光阻膜2，且光阻膜2系连续被覆于阶段部1之上面1a及侧面1b上，又光阻膜2阶段部上面1a之膜厚为1至40μm，阶段部上面1a与侧面1b之境界部的膜厚为，接邻该境界部之上面1a膜厚的75％以上。