微影装置及器件制造方法

摘要

本发明提供一种微影投影系统，该微影投影系统具有一照明系统，该照明系统具有一偏振构件。复数个导向元件将一入射光束之不同子光束反射为可调整、个别可控制的方向。藉由重导向光学器件，可在该光束横截面平面上产生该光束任何所要的偏振空间强度分布。