减压乾燥处理装置

摘要

本发明提供一种对于大型化的基板也可有效率的处理的减压乾燥处理装置。于汽缸单元10的杆子11的下端经由补强板13安装顶板14。该顶板14的大小是作成足以覆盖基板W的大小。其厚度是作成比补强板13还要薄而可达成轻量化。且补强板13是由：俯视与上述顶板14的边呈45°角度的4片分割板13与连结该等分割板13a的连结构件13b所构成。如此连结各分割板13a形成矩形框状的补强板13，且由于补强板13与上述顶板14是以俯视偏移45°相位安装着，所以可防止顶板14对扭力之变形。