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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur kontinuierlichen thermischen Vakuumbeschichtung
摘要
申请公布号 DE102004041855(B4) 申请公布日期 2007.09.13
申请号 DE20041041855 申请日期 2004.08.27
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 GOTTSMANN, LUTZ;SEYFERT, ULF;WENZEL, BERND-DIETER
分类号 C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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