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发明名称
摘要
申请公布号	JP3975861(B2)	申请公布日期	2007.09.12
申请号	JP20020245825	申请日期	2002.08.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/308	主分类号	H01L21/308
代理机构		代理人
主权项
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