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发明名称 ENHANCED N-TYPE SILICON MATERIAL FOR EPITAXIAL WAFER SUBSTRATE AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 EP1115918(B1) 申请公布日期 2007.09.12
申请号 EP20000958007 申请日期 2000.07.12
申请人 SUMCO PHOENIX CORPORATION 发明人 KIRSCHT, FRITZ, G.;WILDES, PETER, D.;TODT, VOLKER, R.;FUKUTO, NOBUO;SNEGIREV, BORIS, A.;KIM, SEUNG-BAE
分类号 C30B15/00;C30B29/06;C30B15/04;H01L21/205;H01L21/322 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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