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发明名称
摘要
申请公布号 JP3973335(B2) 申请公布日期 2007.09.12
申请号 JP20000018261 申请日期 2000.01.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/316;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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