| 发明名称 |
Zweikammersystem zur Ionenstrahl-Sputterbeschichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69936610(D1) |
申请公布日期 |
2007.09.06 |
| 申请号 |
DE19996036610 |
申请日期 |
1999.04.23 |
| 申请人 |
HITACHI GLOBAL STORAGE TECHNOLOGIES NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
PINARBASI, MUSTAFA |
| 分类号 |
C23C14/46;H01F41/18;C23C14/56;G11B5/31;G11B5/39;H01F41/30;H01L43/12 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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