| 发明名称 |
ANSTEUERVORRICHTUNG EINES OPTOELEKTRONISCHEN GERÄTES MIT VERBESSERTEN TESTEIGENSCHAFTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50307773(D1) |
申请公布日期 |
2007.09.06 |
| 申请号 |
DE20035007773 |
申请日期 |
2003.06.18 |
| 申请人 |
AKT ELECTRON BEAM TECHNOLOGY GMBH |
发明人 |
BRUNNER, MATTHIAS |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/316;G02F1/13;G09F9/00;G09G3/00;G09G3/20;G09G3/36 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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