发明名称 TCP处理设备以及TCP处理设备的不良冲除孔的检测方法
摘要 一种把形成了多个TCP的载带(5)传送到与测试头(10)电连接的探针板(8)上,并依次测试多个TCP的TCP处理机(2),包括:在测试后从载带(5)上冲除规定的TCP的不合格品冲杆(26b);能够拍摄由该冲除所形成的冲除孔(53)的照相机(6c);根据由照相机(6c)所拍摄冲除孔(53)的图像数据,获得相应的冲除孔(53)的位置信息的位置信息获得装置;和根据由该位置信息获得装置所获得的冲除孔(53)的位置信息与基准信息的比较,检测出冲除孔(53)的位置不良的位置不良检测装置。上述TCP处理设备(2)能够检测出冲除孔的位置不良。
申请公布号 CN101030549A 申请公布日期 2007.09.05
申请号 CN200710084441.4 申请日期 2007.03.02
申请人 株式会社爱德万测试 发明人 村野寿;近藤雅史
分类号 H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王以平
主权项 1、一种将形成有多个TCP的载带传送到与测试头电连接的接触部分,并可依次测试多个TCP的TCP处理设备,其特征在于包括:在测试后能够从载带冲除规定的TCP的冲除装置;能够拍摄由上述冲除而形成的冲除孔的摄像装置;根据由上述摄像装置所拍摄的冲除孔的图像数据,获得相应的冲除孔的位置信息的位置信息获得装置;和通过由上述位置信息获得装置所获得的冲除孔信息与基准位置信息进行比较,来检测出冲除孔的位置不良的位置不良检测装置。
地址 日本东京