| 发明名称 | 测试样品的固定装置和扫描电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，可以包括以下部件：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。本发明结构简单，成本低廉，由于采用机械的方式将样品固定在固定装置上，样品不会在扫描过程中出现振动，所以可以提高SEM的成像质量；由于固定样品的宽度是可调的，所以可以适用于在一次研磨过程中制造一个或者多个样品，从而可以提高样品制造效率，提高样品测试的速度。 | ||
| 申请公布号 | CN101030518A | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN200610024312.1 | 申请日期 | 2006.03.02 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陈险峰;葛挺锋;秦天;邹丽君 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01);H01J37/28(2006.01);H01L21/66(2006.01);G02B21/34(2006.01) | 主分类号 | H01J37/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1、一种测试样品的固定装置，应用于半导体芯片测试，其特征在于，包括：固定部、压紧部和底座；所述固定部包括一垂直于底座的固定壁，所述固定部设置在底座上，压紧部包括一垂直于底座的活动壁；固定壁、活动壁以及底座之间形成的空间用于固定测试样品。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||