发明名称 |
化学放大抗蚀组合物 |
摘要 |
本发明提供了一种用于化学放大抗蚀剂的抗蚀组合物,所述抗蚀组合物包含光酸引发剂和式(II)聚合物:∴其中R<SUB>1</SUB>选自氢和C<SUB>1</SUB>至C<SUB>20</SUB>脂烃;R<SUB>2</SUB>选自氢或甲基;R<SUB>3</SUB>选自叔丁基或四氢吡喃基;n和m各自为整数,其中n/(m+n)比例为0.1至0.5。本发明化学放大抗蚀组合物对干蚀工艺具有强的抗蚀性,对膜材料具有优良的粘合性,可利用常规显影剂显影。 |
申请公布号 |
CN100335971C |
申请公布日期 |
2007.09.05 |
申请号 |
CN02152489.0 |
申请日期 |
1998.12.02 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
崔相俊;姜律;郑东恒;朴春根 |
分类号 |
G03F7/027(2006.01);C08F222/06(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/027(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
郭国清;樊卫民 |
主权项 |
1.一种用于化学放大抗蚀剂的抗蚀组合物,所述抗蚀组合物包含光酸引发剂和式(II)聚合物:<img file="C021524890002C1.GIF" wi="657" he="600" />其中R<sub>1</sub>选自氢和C<sub>1</sub>至C<sub>20</sub>脂烃,R<sub>2</sub>为氢或甲基,R<sub>3</sub>为叔丁基或四氢吡喃基;n和m各自为整数;和其中n/(m+n)范围为0.1至0.5。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |