微扫描器平面元件法向矢量测量仪

摘要

一种微扫描器平面元件法向矢量测量仪，其特征是：激光光纤模块，电源，开关和摄像头置于箱体中，激光光纤耦合模块的发光部分置于测量仪的视场外，传递激光的光纤部分置于视场内；分光镜嵌入箱体底板，光纤插针体安装于分光镜的中心，激光光纤耦合模块与光纤插针体之间通过光纤相联；激光光纤耦合模块可以安装在箱体内视场外的任何位置；在投影屏的正上方设置一个摄像头，摄像头与显示器相连；摄像头的光轴和激光光纤耦合模块发出的入射光线重合并垂直于分光镜的基面；解决了光源遮挡视场问题，消除了光线侧移相对误差这一对矛盾，提高了测量精度，该仪器的光源几乎没有遮挡视场，屏幕与入射光束垂直，测量时没有相对误差。

主权项

1、一种微扫描器平面元件法向矢量测量仪，该仪器包括分光镜(3)、光纤插针体(4)、激光光纤耦合模块(5)、开关(6)、电源(7)、投影屏S、摄像头(10)和显示器(9)，其特征在于：激光光纤模块(5)，电源(7)，开关(6)和摄像头(10)置于箱体(8)中，激光光纤耦合模块(5)的发光部分置于测量仪的视场外，传递激光的光纤部分置于视场内；分光镜(3)嵌入箱体底板中央，光纤插针体(4)安装于分光镜(3)的中心，激光光纤耦合模块(5)与光纤插针体(4)之间通过光纤相联。