| 发明名称 | 静电吸盘及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于，抑制利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘中产生过剩的漏电流，长期保持吸附特性，以及提高衬底的解吸响应性。本发明的静电吸盘10，是利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘，其特征在于，具有电介体层13和产生静电吸附力的电极12a、12b，所述电介体层13具有陶瓷层13a和形成于陶瓷层13a上的树脂层13b。 | ||
| 申请公布号 | CN101030550A | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN200610080268.6 | 申请日期 | 2006.05.15 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 今井康喜;太田充;鸟越猛 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 葛松生 |
| 主权项 | 1.静电吸盘，其是利用约翰逊·拉别克力的静电吸盘，其特征在于，具有电介体层和产生静电吸附力的电极，所述的电介体层具有陶瓷层和形成于该陶瓷层上的树脂层。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||