发明名称 SOI SUBSTRATE MATERIALS AND METHOD TO FORM SI-CONTAINING SOI AND UNDERLYING SUBSTRATE WITH DIFFERENT ORIENTATIONS
摘要
申请公布号 EP1829098(A1) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 EP20050808127 申请日期 2005.11.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LEONG, MEIKEI;SADANA, DEVENDRA;SHAHIDI, GHAVAM
分类号 H01L21/762;H01L21/20 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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