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发明名称
SOI SUBSTRATE MATERIALS AND METHOD TO FORM SI-CONTAINING SOI AND UNDERLYING SUBSTRATE WITH DIFFERENT ORIENTATIONS
摘要
申请公布号
EP1829098(A1)
申请公布日期
2007.09.05
申请号
EP20050808127
申请日期
2005.11.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
LEONG, MEIKEI;SADANA, DEVENDRA;SHAHIDI, GHAVAM
分类号
H01L21/762;H01L21/20
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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