发明名称 Method of fabricating an EL display device, and apparatus for forming a film
摘要
申请公布号 KR100751512(B1) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 KR20000041825 申请日期 2000.07.21
申请人 发明人
分类号 H01L31/12;C23C14/56;H01L21/00;H01L51/56 主分类号 H01L31/12
代理机构 代理人
主权项
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