发明名称 Verfahren zur Herstellung einer nichtflüchtigen Speichervorrichtung mit einer selbstausgerichteten Gate-Struktur
摘要
申请公布号 DE10236646(B4) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 DE20021036646 申请日期 2002.08.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 SEO, KANG-ILL;HWANG, JAE-SEUNG;LEE, SEUNG-MIN
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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