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发明名称
摘要
申请公布号
JP3963463(B2)
申请公布日期
2007.08.22
申请号
JP20030426768
申请日期
2003.12.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;H01L29/786;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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