一种检测分选废硅料的显色溶剂

摘要

本发明属于半导体硅料检测技术领域，特别涉及一种检测分选废硅料的显色溶剂，浓度为48－50％的氟化氢溶液、68－72％的硝酸溶液、98－99％的醋酸溶液和纯水，按以下体积比调配：氟化氢∶硝酸∶醋酸∶纯水＝1∶3∶6～9∶4～6。采用本发明的显色溶剂省去了目前通过人工逐片逐粒地检测硅料，快速地把低浓度掺杂的合格料与高浓度掺杂的重掺料区分开，提高了分选效率及准确率，并省去昂贵的检测仪器的投入，降低了生产成本。

主权项

1、一种检测分选废硅料的显色溶剂，其特征在于：浓度为48-50％的氟化氢溶液、68-72％的硝酸溶液、98-99％的醋酸溶液和纯水，按以下体积比调配：氟化氢∶硝酸∶醋酸∶纯水＝1∶3∶6～9∶4～6。