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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A REFERENCE PRESSURE WITHIN A CHAMBER OF A CAPACITANCE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1819995(A1) 申请公布日期 2007.08.22
申请号 EP20050803857 申请日期 2005.10.03
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GRUDZIEN, CHRIS, P.
分类号 G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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