一种用于极微小质量测量的微质量传感器

摘要

本实用新型涉及一种的微质量传感器，包括用于质量传感的质量传感薄膜体声波谐振器、用于产生参考频率的薄膜体声波谐振器、第一和第二高频振荡电路和高频放大、高频混频和低通滤波电路，及频率测量和显示装置；第一和第二高频振荡电路分别与质量传感薄膜体声波谐振器和薄膜体声波谐振器组成第一和第二高频振荡器；当质量传感薄膜体声波谐振器上的质量负载有微小的变化时，第一高频振荡器输出高频信号频率将产生小的偏移；第二高频振荡器产生的参考高频信号经过高频放大后，与第一高频振荡器输出的高频信号共同输到高频混频电路上混频，再输出经过低通滤波电路得微质量负载引起的频率变化量，并通过频率测量和显示装置直接给出。

主权项

1、一种用于极微小质量测量的微质量传感器，包括：用于质量传感的质量传感薄膜体声波谐振器(100)、用于产生参考频率的薄膜体声波谐振器(200)、第一高频振荡电路(300)、第二高频振荡电路(400)、高频放大电路(600)、高频混频电路(700)、低通滤波电路(800)和频率测量和显示装置(900)；其特征在于，所述用于质量传感的质量传感薄膜体声波谐振器(100)和第一高频振荡电路(300)一起构成第一高频振荡器，产生一高频信号f01，当质量传感薄膜体声波谐振器(100)上的质量负载有微小的变化时，第一高频振荡电路(300)输出信号的频率也相应地变化，即输出的高频信号频率为f01-Δf，其中，频率的变化量Δf是质量负载引起的；所述用于产生参考频率的薄膜体声波谐振器(200)和第二高频振荡电路(400)一起构成第二高频振荡器，产生一参考的高频信号f02，此信号经过高频放大电路(600)放大后与第一高频振荡电路(300)输出信号共同作为输入端连接到高频混频电路(700)上进行混频，混频后的输出经过低通滤波电路(800)得到微质量负载引起的频率变化量df，此频率变化量通过频率测量和显示装置(900)直接给出。