| 发明名称 |
PACKAGING DEVICE AND PACKAGING METHOD FOR HOLLOW CATHODE TYPE SPATTERING TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1674396(A4) |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
| 申请号 |
EP20040773025 |
申请日期 |
2004.09.14 |
| 申请人 |
NIPPON MINING & METALS CO., LTD. |
发明人 |
OKABE, T.;NAGASAWA, M. |
| 分类号 |
B65B31/04;B65D81/20;C23C14/34 |
主分类号 |
B65B31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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