| 发明名称 | 具有带镜面区的参考面的干涉测量系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种干涉测量系统，该系统包括：具有光源和照明镜组的用于形成照明光路的照明臂；具有参考元件的用于形成成像光路的物体臂，该参考元件用于测量具有要测量的物面的物体，其中要测量的物体具有直接照明不能到达的物面；具有参考元件的参考臂；具有探测器的探测器臂；和分光器，其中参考元件具有一个或多个镜面区。因此能够在唯一的测量过程中测量具有在照明方向上侧凹的面的部件。 | ||
| 申请公布号 | CN101023338A | 申请公布日期 | 2007.08.22 |
| 申请号 | CN200580031809.X | 申请日期 | 2005.07.18 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | J·施特雷勒;U·卡尔曼;R·根科卢;U·卡斯滕 |
| 分类号 | G01N21/45(2006.01);G01N21/95(2006.01);G01N21/88(2006.01);G01B9/02(2006.01);G01B11/24(2006.01);G01B11/30(2006.01);G01J3/45(2006.01) | 主分类号 | G01N21/45(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 卢江;张志醒 |
| 主权项 | 1.干涉测量系统(1)，包括：具有光源(21)和照明镜组(22)的用于形成照明光路(60)的照明臂(20)，具有参考元件(42)的用于形成成像光路(70)的物体臂(40)，该参考元件(42)用于测量具有要测量的物面(45)的物体(41)，其中要测量的物体(41)具有直接照明不能到达的物面(45)，具有参考元件(11)的参考臂(10)，具有探测器(31)的探测器臂(30)，和分光器(50)，其特征在于，所述参考元件(42)具有一个或多个镜面区(46)。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||