发明名称 末端受动器组件
摘要 一种用于基材输送机械臂上的末端受动器组件被提供。在一实施例中,一用来在基材运送期间支撑一四边形基材的末端受动器组件包括一末端受动器其具有一设置在第一端的内缘支撑件及一设置在远端的第一外缘支撑件。该末端受动器的第一端是被设计来耦合至一机械臂连杆。该第一内缘支撑件具有一位在的面,其平行于且面向该第一外缘支撑件。边缘支撑件的此一结构将基材保持在该末端受动器上,藉以让基材在运送期间的滑移减至最小。在另一实施例中,侧向导件可被用来进一步强化基材沿着基材的边缘开放在内及外缘支撑件之间的捕捉性。
申请公布号 TWI285626 申请公布日期 2007.08.21
申请号 TW092135872 申请日期 2003.12.17
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 白隆尼根温德T BLONIGAN, WENDELL T.;松本贵之;史德林威廉N STERLING, WILLIAM N.;梁比利C LEUNG, BILLY C.
分类号 B65G39/00(2006.01) 主分类号 B65G39/00(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 1.一种末端受动器组件,用以在基材输送期间支撑 一四边形基材,该末端受动器至少包含: 一末端受动器,具有一第一端与一第二端,该第一 端系用以耦接至一机械臂连杆; 一具有图案之内缘支撑件,其被设置在该末端受动 器的该第一端且具有一面;及 一具有图案之外缘支撑件,其被设置在该末端受动 器的该第二端且具有一面,该面系被定向为与该内 缘支撑件相面对且相平行。 2.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件,其 中该外缘支撑件是由一热塑性材料所制成,该热塑 性材料具有高于500℃的熔点及小于150的洛氏( Rockwell)M硬度値。 3.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件,其 中该末端受动器的该第二端更包含: 多个沟槽,其被设计用来接受被设置成穿过该外缘 支撑件之固定件。 4.如申请专利范围第3项所述之末端受动器组件,其 中该些沟槽被定位为垂直于该外缘支撑件之该面 。 5.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件,其 中该外缘支撑件更包含多个级阶化的表面。 6.如申请专利范围第5项所述之末端受动器组件,其 中该些级阶化的表面更包含: 一垂直表面;以及 一具有图案的水平表面,用以支撑该基材。 7.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件,其 中该末端受动器更包含: 一基座,其被安置于该第一端且具有一通过该基座 ; 一第一构件,其从该基座的一侧延伸至该末端受动 器的该第二端;以及 一第二构件,其从该基座的一相对侧延伸至该末端 受动器的该第二端,并以该基线为准,与该第一构 件成镜面对称。 8.如申请专利范围第7项所述之末端受动器组件,其 中该具有图案之外缘支撑件被安置于该第一构件 的该第二端上;以及 一具有图案的第二外缘支撑件被安置于该第二构 件的第二端上。 9.如申请专利范围第7项所述之末端受动器组件,其 更包含: 一第二外缘支撑件,其被设置于该第二构件的第二 端上;以及 一第二内缘支撑件,其被设置于该末端受动器之该 第一端上之一以该基线为准而与该第一内缘支撑 件呈镜面对称的位置中。 10.如申请专利范围第9项所述之末端受动器组件, 其中该第二外缘支撑件具有一面,其与该具有图案 之外缘支撑件的该面共平面;以及 该第二内缘支撑件具有一面,其与该具有图案之内 缘支撑件的该面共平面。 11.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一第一侧向导件,其被耦合至该末端受动器且具有 一面;以及 一第二侧向导件,被耦合至该末端受动器且具有一 面,且第二侧向导件之该面系被定向为朝向该第一 侧向导件的该面且与之平行,该第一侧向导件、该 第二侧向导件、该具有图案之第一内缘支撑件及 该具有图案之第一外缘支撑件的该些面系用来保 持一四边形基材。 12.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一第一侧向导件,其被耦合至该末端受动器且具有 一面,且该第一侧向导件之该面系被定向为垂直于 该具有图案之外缘支撑件之该面。 13.如申请专利范围第12项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一叉架,其具有一耦合至该末端受动器的第一端及 一耦合至该第一侧向导件的第二端,其中该叉架的 该第二端系相对于一将该末端受动器分为两半之 基线被定位于该第一端之外侧。 14.如申请专利范围第13项所述之末端受动器组件, 其中该第一侧向导件相对于该基线的位置可被调 整。 15.如申请专利范围第13项所述之末端受动器组件, 其中该些叉架或该末端受动器至少其中一者更包 含复数个沟槽,其被定向为实质垂直于该基线,该 等沟槽被设计来容纳一将该叉架与该末端受动器 耦合在一起的固定件。 16.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其中该第一侧向导件的该面更包含: 复数个级阶。 17.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其中该内缘支撑件更包含: 一表面,其由该内缘支撑件之该面的外侧法线( normally)延伸朝向该外缘支撑件。 18.如申请专利范围第17项所述之末端受动器组件, 其中该内缘支撑件的该表面更包含: 复数个级阶。 19.如申请专利范围第17项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一叉架,其具有一耦合至该末端受动器的第一端及 一耦合至该内缘支撑件的第二端,其中该叉架的第 二端系以一将该末端受动器分为两半之基线为准 被定位于该第一端之外侧。 20.如申请专利范围第17项所述之末端受动器组件, 其中该叉架的该第二端在垂直于该基线的方向上 是可调整的;以及该内缘支撑件在一平行于该基线 的方向上相对于该叉架之位置系可调整。 21.一种末端受动器组件,用以在输送期间支撑一具 有四边形平面形式的基材,该末端受动器组件至少 包含: a)一末端受动器,其包含: 一基座; 一第一构件,其由该基座的一侧延伸至一第二端; 以及 一第二构件,其由该基座的该相对侧延伸至一第二 端,该第一构件与第二构件相对于一通过该基座的 基线呈镜面定向; b)一具有图案之第一物件,用以支撑该基材之一第 一边缘,该具有图案之第一物件系耦合至该第一构 件的该第二端且具有一面垂直于一水平表面; c)一具有图案之第二物件,用以支撑该基材之该第 一边缘,该具有图案之第二物件系耦合至该第二构 件的该第二端且具有一面垂直于一水平表面; d)一具有图案之第三物件,用以支撑位于该基材之 该第一边缘相反侧的第二边缘,该具有图案之第三 物件系耦合至该第二构件的该第二端且具有一面 垂直于一水平表面;以及 e)一具有图案之第四物件,用以支撑位于该基材之 该第一边缘相反侧的第二边缘,该具有图案之第四 物件系耦合至该第二构件的该第二端且具有一面 垂直于一水平表面。 22.如申请专利范围第21项所述之末端受动器组件, 更包含: f)一第五物件,用以保持该基材之一第三边缘,该第 三边缘位于该第一与该第二边缘之间,该第五物件 耦合至该末端受动器。 23.如申请专利范围第22项所述之末端受动器组件, 其中用来保持该第三边缘之该第五物件相对于该 基线的位置是可调整的。 24.如申请专利范围第21项所述之末端受动器组件, 其中该些物件之每一者更包含: 复数个级阶,该些级阶之每一者具有一基材支撑表 面与一保持表面。该保持表面系自该基材支撑表 面向上延伸,每一个保持表面系垂直于该基线。 25.如申请专利范围第24项所述之末端受动器组件, 其中该第一物件之保持表面与该第二物件之保持 表面共平面。 26.一种末端受动器组件,用以在输送期间支撑一具 有四边形平面形式的基材,该末端受动器组件至少 包含: a)一末端受动器,其包含: 一基座; 一第一构件,其由该基座的一侧延伸至一第二端; 以及 一第二构件,其由该基座的该相对侧延伸至一第二 端,该第一构件与第二构件相对于一通过该基座的 基线呈镜面定向; b)一第一外缘支撑件,其耦合至该第一构件的该第 二端并具有复数个级阶,每一级阶都具有一具有图 案之基材支撑表面及一保持表面,该保持表面由该 基材支撑表面向上延伸出,且该保持表面被定向为 与该基线垂直; c)一第二外缘支撑件,其耦合至该第二构件的该第 二端且具有复数个级阶,每一级阶都具有一具有图 案的基材支撑表面及一保持表面,该保持表面由该 基材支撑表面向上延伸出,且该保持表面与该第一 外缘支撑件的保持表面共平面; d)一第一内缘支撑件,其耦合至该末端受动器且具 有一具有图案之基材支撑表面与一保持表面,该保 持表面系于该第二外缘支撑件的该保持表面之对 面方向处面向该第二外缘支撑件的该保持表面;及 e)一第二内缘支撑件,其耦合至该末端受动器且具 有一具有图案之基材支撑表面与一保持表面,该保 持表面与该第一内缘支撑件的保持表面共平面。 27.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一侧向导件,其耦合至该末端受动器且具有一被定 向为平行于该基线的面。 28.如申请专利范围第27项所述之末端受动器组件, 其更包含: 一叉架,其具有一耦合至该末端受动器的第一端及 一耦合至该第一侧向导件的第二端,其中该叉架的 第二端相对于该基线而言系被定向于该第一构件 之外部。 29.如申请专利范围第27项所述之末端受动器组件, 其中该第一侧向导件相对于该基线的位置系可调 整。 30.如申请专利范围第28项所述之末端受动器组件, 其中该叉架或该末端受动器至少其中一者更包含 多个沟槽,该些沟槽系定向为实质垂直于该基线, 用以接受一固定件,该固定件系耦合至该叉架与该 末端受动器。 31.如申请专利范围第27项所述之末端受动器组件, 其中该第一侧向导件之该面更包含: 复数个级阶化的表面。 32.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其中该第一内缘支撑件更包含: 一表面,其系由该第一内缘支撑件之该面的外侧延 伸向该第一外缘支撑件且平行于该基线。 33.如申请专利范围第32项所述之末端受动器组件, 其中该第一内缘支撑件之该面更包含: 复数个阶级化表面。 34.如申请专利范围第33项所述之末端受动器组件, 更包含: 一叉架,其具有一耦合至该末端受动器的第一端及 一耦合至该第一内缘支撑件的第二端,其中该叉架 的第二端相对于该基线而言被定向于该第一构件 的外部。 35.如申请专利范围第34项所述之末端受动器组件, 其中,该叉架的第二端在垂直于该基线的方向上是 可调整的;以及 该第一内缘支撑件在一平行于该基线的方向上可 相对于该叉架作调整。 36.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其中该外缘支撑件是由一热塑性材料所制成,该热 塑性材料具有高于500℃的熔点及小于150的洛氏( Rockwell)M硬度値。 37.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其中该外缘支撑件系由不锈钢或陶瓷所制成。 38.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有表面特征,该些表面特征系选自于由 花纹、压花、凹点与沟槽所构成之群组中。 39.如申请专利范围第21项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有表面特征,该些表面特征系选自于由 花纹、压花、凹点与沟槽所构成之群组中。 40.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之基材支撑表面具有表面特征,该 些表面特征系选自于由花纹、压花、凹点与沟槽 所构成之群组中。 41.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有对称的、等间距的及/或随机的表面 特征。 42.如申请专利范围第21项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有对称的、等间距的及/或随机的表面 特征。 43.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之基材支撑表面具有对称的、等 间距的及/或随机的表面特征。 44.如申请专利范围第1项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有平的、弯的及/或尖的表面特征。 45.如申请专利范围第21项所述之末端受动器组件, 其中该具有图案之外缘支撑件与该具有图案之内 缘支撑件具有平的、弯的及/或尖的表面特征。 46.如申请专利范围第26项所述之末端受动器组件, 该具有图案之基材支撑表面具有平的、弯的及/或 尖的表面特征。 图式简单说明: 第1图为一处理系统的实施例的平面图; 第2图为一输送机械臂的实施例的平面图,其具有 多个设置在一末端受动器上的基材支撑件; 第3图为第2图中之一边缘支撑件的实施例的分解 图; 第4图为第2图中之边缘支撑件沿着剖面线4-4所取 的剖面图; 第5图为第2图中的一间隔件组件实施例的分解图; 第6图为第5图中之间隔件组件的一部分分解图,其 具有侧向导件的另一实施例; 第7图为一间隔件组件的另一实施例的立体图; 第8图为第2图中的一中央支撑件实施例沿着剖面 线9-9所取的剖面图;及 第9A-9F图为有图案的支撑表面的不同实施例的上 立体图。
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