用以测量相对移动之装置及方法

摘要

一种用于量测其本身与一物体(15)相对于彼此之移动的装置。该装置包含：用于产生一量测光束(13)之一雷射(3)，该量测光束(13)由一透镜(10)会聚于一作用平面中。由该物体(15)所反射之辐射经会聚以再进入该雷射腔，以在该雷射(3)中产生一自混合效应。量测构件(4)经提供以接收该反射量测光束辐射且使得能够判定在该量测光束(13)与该反射量测光束辐射之间的频率差，该频率差表示该相对移动。